松下NPM-D3配件手册partlist_0FB38.pdf - 第543页

Re f No. Re m arks R 1 Q'ty 98 面補正ジグ:NPM-D XY Plane Ca libration J ig:NPM-D ｲﾗｽﾄ No. Part No. 品名 品番 数量 R 2 パーツリスト Kit N o. キット品番 Kit N am e キット名称 N610112814AB Part Name 備考 セクションNo. PARTS LIS T Section No. R 3…

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98
面補正ジグ:NPM-D
XY Plane Calibration Jig:NPM-D
パーツレイアウト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
N610112814AB
セクションNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
O347
Ref
No.
Remarks R
1
Q'ty
98
面補正ジグ:NPM-D
XY Plane Calibration Jig:NPM-D
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品名品番 数量
R
2
パーツリスト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
N610112814AB
Part Name
備考
セクションNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
PLATE
2
1 N210141055AA
CASE
1
2 N510057502AA X-Y Plane Calibration Jig 2 in Case;460X306
O348
99
本体調整用ジグ用ケース:NPM
Machine Adjustment Jig Case:NPM
パーツレイアウト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
N610133833AA
セクションNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
O349