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NPM- TT2 EJM1EC-MB-06M-03 5 检测部 6 7 SERVO ON 6-9 -8 每 5 6 0 小 时 保 养 定 期 检 查 安装上面的安全 盖 ●使用六角扳手固定安全盖 部的螺栓。 清扫基板检测传感器部 ●基板检测传感器 ( 反射型 ) 的清扫,请用棉棒尖端碰触检测 部后,如下图所示移动棉棒清除 附着物。

NPM-TT2 EJM1EC-MB-06M-03
延长传送带(选购件)2
4
●基板检测传感器
反射类型:2 个
6-9-7
基板检测传感器的清扫 4
维修保养篇
6-9
确认基板检测传感器的位置和传感器类型
■当设置在左侧上时,传感器的位置
A
螺栓(3处)
延长传送带
螺栓(3处)
基板检测传感器
俯瞰图A

NPM-TT2 EJM1EC-MB-06M-03
5
检测部
6
7
SERVO
ON
6-9-8
每
5
6
0
小
时
保
养
定
期
检
查
安装上面的安全
盖
●使用六角扳手固定安全盖
部的螺栓。
清扫基板检测传感器部
●基板检测传感器(反射型)的清扫,请用棉棒尖端碰触检测部后,如下图所示移动棉棒清除
附着物。

NPM-TT2 EJM1EC-MB-06M-03
真空空气路径的检查
(贴装头(选购件))
6-10-1
对真空空气路径的检查方法进行说明。
使用工具:不要 所需时间:2分钟(1个基台)
维修保养篇
6-10
1
或者
2
A