FCMII操作員教育訓練手冊.pdf - 第10页
開機程 序 打開 主電源 檢查主電源之白色指示燈 將電源關掉 , 並請維修人員檢查 等待系統的正常開機 , 直到螢幕顯示正常狀態 讀取真空壓力值 A : - 請召喚維修人員 . 關上傳送區的上蓋 (Transport Cover) 將所有的置放模組放下 釋放所有的緊急停止鈕 1 1 FCM 操作訓練手冊 \\Operator-FCM.PPT 釋放所有的緊急停止鈕 開機程 序 (2) 檢查主電源之白色指…
開機程序
完成開機前的準備工作
打開氣壓閥
開啟氣閥開關至位置
III
讀取至壓力錶 B, C,
壓力值是否正確
0.1, C : 5.5 0.1bar).
若不正確
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FCM
操作訓練手冊
\\Operator-FCM.PPT
開機程序
(1)
完成開機前的準備工作
III
壓力值是否正確
? (B : 2.6
若不正確
, 請召喚維修人員.
操作訓練手冊
9
開機程序
打開主電源
檢查主電源之白色指示燈
將電源關掉,
並請維修人員檢查
等待系統的正常開機,
直到螢幕顯示正常狀態
讀取真空壓力值 A :
-
請召喚維修人員.
關上傳送區的上蓋
(Transport Cover)
將所有的置放模組放下
釋放所有的緊急停止鈕
11
FCM
操作訓練手冊
\\Operator-FCM.PPT
釋放所有的緊急停止鈕
開機程序
(2)
檢查主電源之白色指示燈
是否已亮? (否則, 請
並請維修人員檢查
)
直到螢幕顯示正常狀態
.
-
0.75 0.02bar.若不正確,
(Transport Cover)
將所有的置放模組放下
.
釋放所有的緊急停止鈕.
操作訓練手冊
10
釋放所有的緊急停止鈕.
開機程序
打開伺服電源
將在Run-in及Run-out
的上蓋蓋好
將所有的緊急開關釋放
按下伺服電源開關
查看綠色伺服電源顯示燈
檢查所有的蓋子是否已正確無誤地蓋好
無效,請召喚維修人員
.)
FCM
操作訓練手冊
\\Operator-FCM.PPT
開機程序
(3)
的上蓋蓋好
.
將所有的緊急開關釋放
查看綠色伺服電源顯示燈
是否已亮? (否則, 請
檢查所有的蓋子是否已正確無誤地蓋好
. 如仍然
.)
操作訓練手冊
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