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10 OM-1645 7. 生産枚数設定 各レーンの生産枚数の設定を行います。 デュアル搬送対応以外の説明については、 “SIGMA-G52 巻6 章8.生産 枚数”を参照してください。 [1] 生産枚数 F10 [1] 設定数 ( 枚 ) A レーン、B レーン 基板生産枚数停止で停止したい生産枚数設定します。 ノート 設定した枚数は、 “生産運転” 画面の “生産枚数” にも表示されます。 画面展開 7. 生産枚数設…
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6. 基板移戴
コンベア上の各レーンの各ブロックにある基板を次のブロックへ移
動させることができます。
[1]
[2] [2]
[2] [2]
基板移載F9
[1]コンベアイメージ表示部
イメージ表示されているコンベアの各レーン、各ブロックはボタン
になっています。
コンベアブロックのボタンを押し、10 秒以内に操作パネルの [START]
ボタンを押すとその位置まで基板が移戴されます。
[2]基板位置決め AL、基板位置決め BL、
基板位置決め AR、基板位置決め BR
各レーン、各ブロックの基板位置決めを行います。
[ 実行 ] ボタンを押し、10 秒以内に操作パネルの [START] ボタンを
押すと、選択したバックアップベースが上昇し、基板が位置決めさ
れます。
[ 解除 ] ボタンを押し、10 秒以内に操作パネルの [START] ボタンを
押すと、選択したバックアップベースが下降し、基板が位置決めが
解除されます。
画面展開
6.基板移載
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7. 生産枚数設定
各レーンの生産枚数の設定を行います。
デュアル搬送対応以外の説明については、“SIGMA-G52 巻6 章8.生産
枚数”を参照してください。
[1]
生産枚数 F10
[1] 設定数 ( 枚 )
A レーン、B レーン
基板生産枚数停止で停止したい生産枚数設定します。
ノート
設定した枚数は、“生産運転”画面の“生産枚数”にも表示されます。
画面展開
7. 生産枚数設定
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8. 入出力
搬送に関する入出力状態を確認します。
デュアル搬送対応以外の説明については、“SIGMA-G53 巻1 章6.1入
出力”を参照してください。
[1]
“入出力”画面 F11
[1] [ 搬送 ] ボタン
搬送する入出力状態を確認できます。
8. 入出力
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