NPM-W2 20170529.pdf - 第156页
21 NPM-W2:プロダクション モジュラー NPM -W 2:Production Modular キットレイアウト 製品品番 Model No. 製品名称 Model Name NM-EJM7D KIT LAYOUT - - U41 ( KEJM7DS-16-21 )
Kit Name
RankQ'ty
番号
Part No.
キット名
品 番 数量 ﾗﾝｸ
頁
Page
No.
20
NPM-W2:プロダクション モジュラー
NPM-W2:Production Modular
キットリスト
製品品番
Model No.
製品名称
Model Name
NM-EJM7D
KIT LIST
1
78
N610095857AB
MULTIFUNCTIONAL TRANSFER
UNIT:NPM
汎用型転写ユニット(メカ):NPM
O279
1
79
N610102174AA
MULTIFUNCTIONAL TRANSFER UNIT(H)
汎用型転写ユニット(制御)
O299
1
80
N610105847AA
SCRAPER
SCRAPER
O301
U40
--
( KEJM7DS-16-20 )
21
NPM-W2:プロダクション モジュラー
NPM-W2:Production Modular
キットレイアウト
製品品番
Model No.
製品名称
Model Name
NM-EJM7D
KIT LAYOUT
--
U41
( KEJM7DS-16-21 )
Kit Name
RankQ'ty
番号
Part No.
キット名
品 番 数量 ﾗﾝｸ
頁
Page
No.
21
NPM-W2:プロダクション モジュラー
NPM-W2:Production Modular
キットリスト
製品品番
Model No.
製品名称
Model Name
NM-EJM7D
KIT LIST
1
81
N610072046AA
GAUGE 0-250micro/scale10micro
膜厚ゲージ 0-250μm/目盛10μm
O303
1
82
N610072047AA
GAUGE 0-500micro/scale20micro
膜厚ゲージ 0-500μm/目盛20μm
O305
1
83
N610076379AA
MAINTENANCE JIG:NPM
メンテナンス治具:NPM
O307
1
84
N610126470AB
Lubrication Set
給油セット
O309
1
85
N610105662AA
Attachment Case
付属品収納ケース
O311
1
86
N610102541AA
Unit Exchange Tool
ユニット交換工具
O313
1
87
N610133913AA
NOZZLE HOLDER REFRESH JIG 12Nz
ノズルホルダー清掃治具12Nzセット
O315
1
88
N610133914AA
NOZZLE HOLDER REFRESH JIG 16Nz
ノズルホルダー清掃治具16Nzセット
O317
U42
--
( KEJM7DS-16-21 )