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16 Tg1373-ID-SO 3. 概観図 0607-001 3. 概観図基板供給部側基板排出部側コンベア上面カバーマグネットキャッチコンベア上面カバーマグネットキャッチカバー開閉検出センサカバー開閉検出センサ Fig. 1

Tg1373-ID-SO

1. 概要

0607-001

1. 概要

本特別仕様は、GXH-1 シリーズ装置本体の基板搬送コンベア部 ( 基板

供給部、基板排出部 ) に開閉式のカバーを設置し、生産運転中の基

板の手差しと取出しの作業を可能にしたものです。

ノート

本取扱説明書では、基板流れ方向が左から右の場合について説明し

ています。

2. 仕様

Table 1

Tg1373-ID-SO

3. 概観図

0607-001

3. 概観図

基板供給部側

基板排出部側

コンベア上面カバー

マグネットキャッチ

コンベア上面カバー

マグネットキャッチ

カバー開閉検出センサ

Fig. 1

Tg1373-ID-SO

4. 基板の手差しおよび取出し手順

0607-001

4. 基板の手差しおよび取出し手順

供給コンベアへの基板の手差し、および排出コンベアからの基板の

取出し作業を行う前に、以下の項目に注意してください。

注意

運転を始める前に、装置 (GXH-1 シリーズ ) の周辺 ( 特に、

操作を行う側の反対側 ) に人がいないこと、工具や部品類

など物がないことを確認してください。

注意

(a) コンベア上面カバーの上、および周辺に物を置かないでくださ

い。

(b) コンベア上面カバーの上から強い力で押さないでください。

上面カバーやカバー開閉検出センサが変形、または破損するお

それがあります。

で拭取ってください。

コンベア上面カバーの開閉作業により、ホコリなどが基板や供

給･排出コンベアに付着するおそれがあります。