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17 Tg1373-ID-SO 4. 基板の手差しおよび取出し手順 0607-001 4. 基板の手差しおよび取出し手順 供給コンベアへの基板の手差し、および排出コンベアからの基板の 取出し作業を行う前に、以下の項目に注意してください。 注意 運転を始める前に、装置 (GXH-1 シリーズ ) の周辺 ( 特に、 操作を行う側の反対側 ) に人がいないこと、工具や部品類 など物がないことを確認してください。 注 意 (a) コンベア上面…
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3. 概観図
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3. 概観図
基板供給部側
基板排出部側
コンベア上面カバー
マグネットキャッチ
コンベア上面カバー
マグネットキャッチ
カバー開閉検出センサ
カバー開閉検出センサ
Fig. 1
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4. 基板の手差しおよび取出し手順
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4. 基板の手差しおよび取出し手順
供給コンベアへの基板の手差し、および排出コンベアからの基板の
取出し作業を行う前に、以下の項目に注意してください。
注意
運転を始める前に、装置 (GXH-1 シリーズ ) の周辺 ( 特に、
操作を行う側の反対側 ) に人がいないこと、工具や部品類
など物がないことを確認してください。
注 意
(a) コンベア上面カバーの上、および周辺に物を置かないでくださ
い。
(b) コンベア上面カバーの上から強い力で押さないでください。
上面カバーやカバー開閉検出センサが変形、または破損するお
それがあります。
(c) コンベア上面カバーがホコリなどで汚れていたら、ウエスなど
で拭取ってください。
コンベア上面カバーの開閉作業により、ホコリなどが基板や供
給･排出コンベアに付着するおそれがあります。
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4.1 供給コンベアへの基板の手差し手順
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4.1 供給コンベアへの基板の手差し手順
手順
(1) 取っ手を持って、コンベア上面カバーを開けます。
コンベア上面カバーをステージ横の準備完了スイッチ横のマグ
ネットキャッチで固定してください。
注 意
(a) コンベア上面カバーを開けるときは、取っ手をしっかりと持っ
て、ゆっくり開けてください。
(b) 基板搬送中に上面カバーを開けると、装置 (GXH-1 シリーズ )
が異常停止し、画面に装置稼動情報が表示されます。
マグネットキャッチ
マグネットキャッチ拡大図
取っ手
取っ手
Fig. 2