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预防性维护 HF 维护 2003 年 3 月版 11 维护段位器光栅盘 81 ① 用干无纺布清洁段位器光栅盘虹吸盘。 11 ② 用浸有无水乙醇的无纺布清洁段位器光 栅盘摩擦轮。 11 ③ 用浸有无水乙醇的无纺布清洁增量盘。 11 11 11 11 11 11 11 11 11

维护 预防性维护 HF
11 维护段位器光栅盘 2003 年 3 月版
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2003 年 3 月版 11 维护段位器光栅盘
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① 用干无纺布清洁段位器光栅盘虹吸盘。
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② 用浸有无水乙醇的无纺布清洁段位器光栅盘摩擦轮。
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③ 用浸有无水乙醇的无纺布清洁增量盘。
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