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D4 预防性维护 7 4 个月维护 2008 年 8 月中文版 47 切记遵守 ESD 规定。 7 7 7 ○ 覆盖供料器区域可保护供料器组件和贴 片头前部。 7 ① 打开应变消除装置。 ② 释放带状电缆上方的夹持器。 ③ 拉出两条带状电缆。 7 ④ 松开贴片头前部上的 4 个螺丝 (使用 3 mm 六角套筒扳手) ,然后拆下 前部。 拧下螺丝时,握住贴片头的前部 。 7 注意不要碰到真空分配器。 7 7 旋转星形轴半圈,以免损坏带阀 …

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D4 预防性维护 7 4 个月维护
2008 8 月中文版
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切记遵守 ESD 规定。
7
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覆盖供料器区域可保护供料器组件和贴片头前部。
7
打开应变消除装置。
释放带状电缆上方的夹持器。
拉出两条带状电缆。
7
松开贴片头前部上的 4 个螺丝 (使用 3 mm 六角套筒扳手),然后拆下前部。
拧下螺丝时,握住贴片头的前部 7
注意不要碰到真空分配器。 7
7
旋转星形轴半圈,以免损坏带阀门推杆的阀门推杆驱动装置 7
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将贴片头的前部放在软的 ESD 表面上 (使用下侧的阀门推杆)或将其放置在适当的头支架
上。
取下段位器光栅盘,并将其存放在提供的容器中。
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