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D4 预防性维护 9 维护段位器光栅盘 2008 年 8 月中文版 77 ① 顺时针转动纵向真空孔内的 1.4 mm 钻头以清除 污物。 转动钻头，清除孔内的污物。 ② 使用 1.1 mm 钻头清除横向真空孔内的污物。 9 执行此步骤时须戴上实验室手套 。 9 9 9 ③ 检查段位器光栅盘虹吸盘是否损坏。 如果损坏，则进行更换。 ③ 用干无纺布清洁段位器光栅盘虹吸盘。 9 9 9 9 9 9 9 9 9 9 9 9 9 9 9 9 9 …