Vakuumtooling Beru HS50.pdf - 第24页
1 Nachrüstanleitung SOKO Vakuum-Tooling Beru HS-50 (00166137-01) SOKO Vakuum-Tooling Ausgabe 01/2006 24 Empfohlene Einstellwert e für die vorhandene Kundenträgerplatte: 1 1 OUT 1 OUT 2 HYS, N.O. HYS, N.C. H-1= 450 mbar H…
SOKO Vakuum-Tooling 1 Nachrüstanleitung SOKO Vakuum-Tooling Beru HS-50 (00166137-01)
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Programmierung des Sensors: 1
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Empfohlene Einstellwerte für die vorhandene Kundenträgerplatte: 1
1
OUT 1
OUT 2
HYS, N.O. HYS, N.C.
H-1= 450 mbar H-2 = 150 mbar
h-1= 0,07 mbar h-2 = 0,07 mbar
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1.2 Umbau des Transports
Damit das Substrat nicht zerstört wird, müssen die Klemmkämme in beiden Bearbeitungsberei-
chen demontiert werden. 1
Die Ansteuerung des Vakuumtoolings wird mit Magneten auf den Hubtischen fixiert. Die Träger-
platten werden über 2 Passstifte und 2 Schrauben auf der Hubtischplatte zentriert und befestigt.1
1
1
Zentrierstifte
(einer ist verdeckt)
Zentrierstifte
(einer ist verdeckt)
Schrauben
Schrauben