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71 MODEL PXH-1 071 1-002 Fig. G 基板認識部 PEC RECOGNITION SECTION

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MEMO
71
MODEL PXH-1
0711-002
Fig. G
基板認識部
PEC RECOGNITION SECTION
MODEL PXH-1
1006-004
72
82
35
82
13
33
A
68
31
78
80
79
37
73
78
25
72
23
1
B
1 1
4
5
79
80
78
94
94
75
74
79
80
78
64
3
12
2
85
12
65
B
12
A
32
81
24
96
85
30
10
66
97
20
19
74
75
71
21
69
70
61
26
95
97
96
8
87
9
87
7
88
89
83
6
6
38
28
29
6
69
70
62
27
92
93
91
C
C
40
85
97
96
85
97
96
88
89
98
基板認識部
PEC RECOGNITION SECTION
Fig. G-1
基板認識Ｘ軸
PEC Recognition X Axis
　( 左流れ）
　
(Left Flow)