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NPM-W 2 EJM7DJ-MB-02M-00 2-1-6 -8 ノズル反射板接触面 軽量 16 ノズルヘッド ■軽量 16 ノズルヘッド ■ノズル 内外周部 ノズルクッション用 スプリング クランプ爪 ■ノズルホルダー ■ノズルチェンジャー ※ 12 ノズルヘッド用と共通です。 クランプ爪押さえ用 スプリング ノズルホルダー摺動面 真空エア経路 θ 軸ベルト スプラインシャフト摺動面 ノズルフランジ上面 (2D コード部 ) ノズル…
NPM-W2 EJM7DJ-MB-02M-00
概要
ユニット別定期点検箇所 4
＜装着ヘッド＞(オプション)
2-1-6-7
メンテナンス
編
2-1-6
前側・後側
■装着ヘッド
■ノズルチェンジャー
NPM-W2 EJM7DJ-MB-02M-00
2-1-6-8
ノズル反射板接触面
軽量16ノズルヘッド
■軽量16ノズルヘッド ■ノズル
内外周部
ノズルクッション用
スプリング
クランプ爪
■ノズルホルダー
■ノズルチェンジャー
※12ノズルヘッド用と共通です。
クランプ爪押さえ用
スプリング
ノズルホルダー摺動面
真空エア経路
θ軸ベルト
スプラインシャフト摺動面
ノズルフランジ上面
(2Dコード部)
ノズルテーパー面
ノズル先端部
ノズル内部
ノズル反射板
NPM-W2 EJM7DJ-MB-02M-00
概要
2-1-6-9
12 ノズルヘッド
■12ノズルヘッド ■ノズル
■ノズルホルダー
■ノズルチェンジャー
ユニット別定期点検箇所 5
＜装着ヘッド＞(オプション)
※軽量16ノズルヘッド用と共通です。
ノズルフランジ上面
(2Dコード部)
ノズルテーパー面
ノズル先端部
ノズル内部
内外周部
ノズルクッション用
スプリング
クランプ爪
クランプ爪押さえ用
スプリング
ノズル反射板接触面
真空エア経路
ノズル反射板
θ軸ベルト
メンテナンス
編
2-1-6
スプラインシャフト摺動面
ノズルホルダー摺動面