NPM-D3A故障排除篇.pdf - 第147页
NPM-D3A EJM6EC-MB-02T-01 错误代码 错误信息 错误原因 检查和对策 2-1-3 -86 错 误 对 策 基板搬出错误 基板搬入错误 基板搬入时超时。 ( 发生了基板搬入错误。 ) 请实施其中某个对策。 1) 请确认传送带上的基板和基板检出 传感器的状态。 2) 请确认传送带的宽度。 44000 基板搬出时超时。 ( 发生了基板搬出错误。 ) 请实施其中某个对策。 1) 请确认传送带上的基板和基板检出 传感器的状态…
NPM-D3A EJM6EC-MB-02T-01
单一停止错误 43
错误代码
错误信息
错误原因 检查和对策
2-1-3
-85
错误
信息
故障排除篇
2-1-3
识别参数异常
(吸嘴大小D)
识别参数异常
(吸嘴大小W)
吸嘴形状的间隔不正确。
(识别参数（吸嘴尺寸W）发
生异常。)
请确认错误发生时的状况和错误内容,
并联系本公司。
43512
吸嘴形状的直径不正确。
(识别参数（吸嘴尺寸D）发
生异常。)
请确认错误发生时的状况和错误内容,
并联系本公司。
43513
识别参数异常(识别模式)
识别参数异常
(吸嘴形状模式)
吸嘴形状模块不正确。
(识别参数（吸嘴形状模块）
发生异常。)
请确认错误发生时的状况和错误内容,
并联系本公司。
43518
识别模式设定不正确。
(识别参数（识别模式）发生
异常。)
请确认错误发生时的状况和错误内容,
并联系本公司。
43519
NPM-D3A EJM6EC-MB-02T-01
错误代码
错误信息
错误原因 检查和对策
2-1-3
-86
错
误
对
策
基板搬出错误
基板搬入错误
基板搬入时超时。
(发生了基板搬入错误。)
请实施其中某个对策。
1)请确认传送带上的基板和基板检出
传感器的状态。
2)请确认传送带的宽度。
44000
基板搬出时超时。
(发生了基板搬出错误。)
请实施其中某个对策。
1)请确认传送带上的基板和基板检出
传感器的状态。
2)请确认传送带的宽度。
44001
NPM-D3A EJM6EC-MB-02T-01
单一停止错误 44
错误代码
错误信息
错误原因 检查和对策
2-1-3
-87
错误
信息
故障排除篇
2-1-3
基板有错误
后工序要求OFF的超时
错误
基板搬出后传感器异常
基板搬出后停止位置传感器
打开了。
(发生了基板搬出后传感器异
常。)
请实施其中某个对策。
1)请确认传送带上的基板和基板检出
传感器的状态。
2)请确认传送带的宽度。
44002
基板排出后后工序机器的基
板要求信号在设定时间内没
有关闭。
(发生了后工序要求关闭等待
超时。)
请实施其中某个对策。
1)请确认传送带上的基板和基板检出
传感器的状态。
2)请确认基板排出等待时间(要求关
闭)的设定值。
44003
基板搬入时基板停止位置传感
器已经打开。
(基板搬入时检测有基板。)
请确认传送带上的基板和基板检测传
感器的状态。
44004