J09_RS-1_SPE.pdf - 第37页
33 5-2- 29 5-2- 29 - 1 …

32
5-2-28 R-ATC
RS-1R ATC R-ATC
R-ATC
2
(ATC0001) RS-1 ATC
(ATC0002) 1 ATC
ノズル穴種類 標準プレート
オプションプレ
ート
小型ノズル穴 長辺10mmまで 41 34
大型ノズル穴 長辺23mmまで(※1) 4 3
超大型1ノズル穴 長辺30mmまで(※2) 0 1
総計 45 38
※1 大型ノズル穴には小型ノズルを設置可能。
※2 超大型1ノズル穴には小型ノズル、大型ノズルともに設置可能。
1
15
16
26
27
37
38
1
15
16
30
31
45
1

33
5-2-29
5-2-29-1

34
5-2-29-2
(1)
USB
()
(5)
(2)
(3)
±0.3mm 3σ
(4)
2
3mm
4mm
(5)
()
1mm
5g
XY
注意
B
A
4mm