Panasonic 使用说明书-操作篇.pdf - 第665页
NPM-W 2 EJM7DC-MB-08O-07 8-1-3 -4 ■ 层叠杆式供料器规格 前 : 交换台车 / 后 : 单式托盘供料器 的连接时 通知 基板搬送基准 层叠杆式供料器 层叠杆式供料器 13 联供料器基座 交换台车 前侧 前侧 单式托盘供料器 单传送带规格 双传送带规格 ( 单位 : mm) 基板搬送基准 ( 后轨道 ) 基板搬送基准 ( 前轨道 ) 外形尺寸 拔插层叠杆式供料器时，需要以下所 述的空间。 ●从端部依次拔插…
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(单位:mm)
■连接单式托盘供料器时
外形尺寸
工作区域
交换台车
13站供料器座
单式托盘供料器
1 280(传送带宽度)
1 265(安全盖外形)
工作区域
8-1-3-3
盖后端面
盖后端面
前侧
2 570
1 616954
1 095.5
820.5 1 511.5
前侧
2 570
1 055.5571943.5
810
571 951
1 830
1 080
2 000
855
前侧
单传送带规格
基板搬送基准
双传送带规格
基板搬送基准
(后轨道)
基板搬送基准
(前轨道)
基板搬送高度
规格
外形尺寸和工作区域 2
操作篇
8-1-3
单式托盘规格
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8-1-3-4
■ 层叠杆式供料器规格
前: 交换台车 / 后: 单式托盘供料器 的连接时
通知
基板搬送基准
层叠杆式供料器
层叠杆式供料器
13联供料器基座
交换台车
前侧
前侧
单式托盘供料器
单传送带规格
双传送带规格
(单位: mm)
基板搬送基准
(后轨道)
基板搬送基准
(前轨道)
外形尺寸
拔插层叠杆式供料器时，需要以下所述的空间。
●从端部依次拔插时，如上图所示，需要 400 mm 的空间。
●两侧有相邻的层叠杆式供料器，要对当中的层叠杆式供料器进行拔插时，因为需要层叠杆式供料器
全长的距离来拔插，所以最大需要 1 600 mm 的空间。
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规格
外形尺寸和工作区域 3
■连接双式托盘供料器时
双式托盘规格
工作区域
(单位:mm)
外形尺寸
工作区域
双式托盘供料器
交换台车
1 280(传送带宽度)
1 265(安全盖外形)
8-1-3-5
盖后端面
操作篇
8-1-3
前侧
2 570
1 616954
1 095.5
820.5 1 511.5
2 570
1 055.5
571943.5
810
571 951
1 830
1 080
2 000
1190
前侧
盖后端面
前侧
双传送带规格单传送带规格
基板搬送基准
基板搬送基准
(后轨道)
基板搬送基准
(前轨道)
基板搬送高度