G5《使用说明书》.pdf - 第27页
27 27 4-9 Mark 11. PCB 1 [ ] 4 – 1 0 4- 10 X,Y1,Y2,Z CCD CCD …
26
[ 2 ]
Z CCD Z
X,Y
PCB
Z Z Z
Z Z Z Z
Z
MARK 2D
PCB
PCB
PCB PCB
CCD Z
PCB Z Z
<< PCB [ 2 ]
Z PCB PCB
PCB
4. [ 2 ] PCB
5. CCD CCD XCCD Y
6.
7. Z Z PCB
8. Z
9. MARK Mark
10. PCB [ 2 ]
[Mark ]
PCB xy 4-9
27
27
4-9 Mark
11. PCB 1[] 4–10
4-10
X,Y1,Y2,Z
CCD CCD
CCD
CCD CCD
CCD LED 5
LED LED
28
LED
CCD XCCD Y CCD
CCD
Mark
Mark Mark
Mark
Mark
Mark 13mm
Mark
12. 4-11
4–11
4-11
13. 4-11
[ 2 ] 4–12
4–12
14. 4–10[]
[ 2 ]
[ 2 ]
15. 78910 [ 1][ 2][PCB 2] Mx
MyPxPy
16. 2D
1 2D
2 [ 2 ]2D 2D
4-13
实 时 显 示
采 集 图 像
显 示
设 置 模 板
定 制 模 板
搜 寻 范 围