SM471_PLUS_Maintenance(Chi_Ver2.2)_red.pdf - 第48页
每周检查 Chap ter 4 Fas t Chip Sh oot er SM 471 PLU S Ma in ten an c e Ha nd b oo k 4-1 Head Fly Camera Lens清扫 维护工 具 空气喷射器 , 酒精 , 棉棒 , (+) driver 措施 Step 1. 参 考 详见 "4 . Front X - Frame 前面移动 " (第 1 -3 页) 和 "R e…

SM471 PLUS Maintenance Handbook
3-14
Chapter 3
每日检查
Fast Chip Shooter
Mist Separator Filter 检查及更换
每日检查
Step 5. 逆 时 针 方 向 转 动 、分 离 容 器
Step 6. 朝顺时针方向旋转Filter装置后更换。
Step 7. 参 考 详见"3. 撤销紧急停止" (第1-10页)解除紧急停止后重新进行
作业

每周检查
Chapter 4
Fast Chip Shooter
SM471 PLUS Maintenance Handbook
4-1
Head Fly Camera Lens清扫
维护工具
空气喷射器,酒精,棉棒,(+) driver
措施
Step 1. 参考详见"4. Front X-Frame 前面移动" (第1-3页) 和 "Rear X
Frame 后面移动" (第1-7页)把各X Frame向两端进行移动。
Step 2. 按OP面板的'EMG'按钮停止作业后、依次按'STOP','RESET'按钮。
详细内容请参阅详见"2. 紧急停止" (第1-2页)
Step 3. 用 M3扳手拧开Camera Cover固 定 螺 丝 后 、从 Head Ass'y中分离
Camera Cover
Step 4. 利用空气喷射器清扫相机镜头上的灰尘、如果没有完全清除杂质、就
在棉签上沾上少量酒精后擦拭
注 意
如果用力擦拭镜头,有可能损坏镜头表面。
Step 5. 参考 详见"3. 撤销紧急停止" (第1-10页)解除紧急停止后重新进
行作业
Head
Fly
Camera
Lens
清扫
Chapter 4
每周检查
(所需时间: 5分 / No. W-1)

每周检查
Chapter 4
Fast Chip Shooter
SM471 PLUS Maintenance Handbook
4-2
Head Mirror清扫
每周检查
维护工具
空气喷射器,酒精,超细纤维布块
措施
Step 1. 参考详见"4. Front X-Frame 前面移动" (第1-3页) 和 "Rear X
Frame 后面移动" (第1-7页)把各X Frame向两端进行移动。
Step 2. 按OP面板的'EMG'按钮停止作业后、依次按'STOP','RESET'按钮。
详细内容请参阅详见"2. 紧急停止" (第1-2页)
Step 3. 用空气喷射器清扫Mirror的灰尘。
Step 4. 如果没有完全消除杂物时、在干净的布沾少量的酒精后进行擦拭
注 意
如果用力擦拭或用不干净的布块擦拭,有可能损坏Mirror表面的涂层。
涂层损坏时,请咨询 C/S公司(STS)或当地代理商。
Step 5. 参考 详见"3. 撤销紧急停止" (第1-10页)解除紧急停止后重新进
行作业
Head
Mirror
清扫
(所需时间: 5分 / No. W-2)