DLM3、DLM4预防性维护(2014年6月中文版).pdf - 第21页
小型维护 3.1.4 执行维护工作 DLM 的维护任务 预防性维护 SIPLACE DLM3 / DLM4 21 3.1.4.7 3 . 1 . 4 . 7 检 查 、 清 洁 并 为 段 位 器 光 栅 盘 涂 抹 润 滑 脂 检查、清洁并为段位器光栅盘 涂抹润滑脂 ► 检查薄片是否损坏。 如已损坏,请将套筒发给 SI PLACE 套筒维护团队。 ► (1) 在合适的容器中喷洒少量的铁氟龙润 滑脂。 ► (2) 在棉布上涂抹铁氟龙润滑…

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DLM 的维护任务 3.1.4 执行维护工作
20 预防性维护 SIPLACE DLM3 / DLM4
3.1.4.5
3.1.4.5 插入阀柱塞
插入阀柱塞
3.1.4.6
3.1.4.6 更换段位器光栅盘
更换段位器光栅盘
► 在吸嘴更换器中方面贴片头吸嘴。
► 打开安全罩。
► 插入经过清洁的阀柱塞,并在必要时插入全新的阀柱
塞 (1)。
插入阀柱塞前,对其进行润滑 (请参阅 "3.1.4.4 润滑
阀柱塞 " [ ➙ 17] 部分的内容)。如果阀柱塞的移动过
于轻松或较为僵硬,请将其更换。
注意
确保阀柱塞插入至底部无法再前进的地方。
注意
实验室用的手套
► 不要用手直接拿住段位器光栅盘。执行段位器光栅盘维护任务时要带上保护手套。这有助
于避免不必要地污染玻璃或摩擦轮。这种污染可能导致设备故障 (计数错误或摆动过
大)。
提示
段位器光栅盘
我们建议您准备好一组清洁后的段位器光栅盘,在更换已污染的段位器光栅盘时可以使用。
► (1) 从贴片头中拉出段位器光栅盘。
► (2) 将段位器光栅盘放入所提供的容器中。
► 将星型轴旋转到下一个段位器。
► 为所有段位器重复执行这些步骤,直到所有段位器光
栅盘都已取出。
► 将清洁后的段位器光栅盘插入段位器。轻轻地将段位
器光栅盘咬合,避免损坏固定弹簧。

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3.1.4 执行维护工作 DLM 的维护任务
预防性维护 SIPLACE DLM3 / DLM4 21
3.1.4.7
3.1.4.7 检查、清洁并为段位器光栅盘涂抹润滑脂
检查、清洁并为段位器光栅盘涂抹润滑脂
► 检查薄片是否损坏。
如已损坏,请将套筒发给 SIPLACE 套筒维护团队。
► (1) 在合适的容器中喷洒少量的铁氟龙润滑脂。
► (2) 在棉布上涂抹铁氟龙润滑脂。
注意
切勿使用喷雾罐直接将铁氟龙润滑脂喷洒在棉布上。单
独使用一个容器有助于避免施用过多的润滑脂及其对贴
片头造成的间接损害!
始终使用乙醇或异丙醇进行清洁。切勿使用白酒,不然
增量盘上就会出现条纹!
切勿使用可溶性硅清洁剂。
► (3) 将润湿的棉布沿着反旋转元件的槽擦拭。
► (1) 检查交换环是否可在套筒中轻松地移动。由此而
产生移动的装置不应与接触面产生粘连或摩擦。不
过,如果排除润滑的因素后还是会产生粘连或摩擦,
则请将套筒发给 SIPLACE 套筒维护团队。
► 为所有的套筒重复这些步骤。

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DLM 的维护任务 3.1.4 执行维护工作
22 预防性维护 SIPLACE DLM3 / DLM4
► 顺时针旋转孔洞中的 1.4 mm 钻头即可去除纵向真空
孔中的污物。旋转钻头即可清除孔洞中的污物。
► 借助 1.1 mm 的钻头并使用同样的程序即可清除横向
真空孔中的污物。
► 此步应穿戴实验室手套。
► (1) 检查吸板是否损坏。如已损坏,请更换。
► (2) 使用干燥的无绒布清洁套筒的吸板。
► 用沾有乙醇的无绒布清洁套筒的边缘 (1)。
► 使用沾有乙醇的无绒布清洁套筒的增量盘 (2)。