DLM3、DLM4预防性维护(2014年6月中文版).pdf - 第21页

小型维护 3.1.4 执行维护工作 DLM 的维护任务 预防性维护 SIPLACE DLM3 / DLM4 21 3.1.4.7 3 . 1 . 4 . 7 检 查 、 清 洁 并 为 段 位 器 光 栅 盘 涂 抹 润 滑 脂 检查、清洁并为段位器光栅盘 涂抹润滑脂 ► 检查薄片是否损坏。 如已损坏,请将套筒发给 SI PLACE 套筒维护团队。 ► (1) 在合适的容器中喷洒少量的铁氟龙润 滑脂。 ► (2) 在棉布上涂抹铁氟龙润滑…

100%1 / 48
小型维护
DLM 的维护任务 3.1.4 执行维护工作
20 预防性维护 SIPLACE DLM3 / DLM4
3.1.4.5
3.1.4.5
插入阀柱塞
3.1.4.6
3.1.4.6
更换段位器光栅盘
在吸嘴更换器中方面贴片头吸嘴。
打开安全罩。
插入经过清洁的阀柱塞,并在必要时插入全新的阀柱
(1)
插入阀柱塞前,对其进行润滑 (请参阅 "3.1.4.4 润
阀柱塞 " [ ➙ 17] 部分的内容)如果阀柱塞的移动过
于轻松或较为僵硬,请将其更换。
注意
确保阀柱塞插入至底部无法再前进的地方。
注意
实验室用的手套
不要用手直接拿住段位器光栅盘。执行段位器光栅盘维护任务时要带上保护手套。这有助
于避免不必要地污染玻璃或摩擦轮。这种污染可能导致设备故 (计数错误或摆动过
大)
提示
段位器光栅盘
我们建议您准备好一组清洁后的段位器光栅盘,在更换已污染的段位器光栅盘时可以使用。
(1) 从贴片头中拉出段位器光栅盘。
(2) 将段位器光栅盘放入所提供的容器中
将星型轴旋转到下一个段位器。
为所有段位器重复执行这些步骤,直到所有段位器光
栅盘都已取出。
将清洁后的段位器光栅盘插入段位器。轻轻地将段位
器光栅盘咬合,避免损坏固定弹簧
小型维护
3.1.4 执行维护工作 DLM 的维护任务
预防性维护 SIPLACE DLM3 / DLM4 21
3.1.4.7
3.1.4.7
检查、清洁并为段位器光栅盘涂抹润滑脂
检查薄片是否损坏。
如已损坏,请将套筒发给 SIPLACE 套筒维护团队。
(1) 在合适的容器中喷洒少量的铁氟龙润滑脂。
(2) 在棉布上涂抹铁氟龙润滑脂。
注意
切勿使用喷雾罐直接将铁氟龙润滑脂喷洒在棉布上。单
独使用一个容器有助于避免施用过多的润滑脂及其对贴
片头造成的间接损害!
始终使用乙醇或异丙醇进行清洁。切勿使用白酒,不然
增量盘上就会出现条纹!
切勿使用可溶性硅清洁剂。
(3) 将润湿的棉布沿着反旋转元件的槽擦拭。
(1) 检查交换环是否可在套筒中轻松地移动。由此而
产生移动的装置不应与接触面产生粘连或摩擦。不
过,如果排除润滑的因素后还是会产生粘连或摩擦,
则请将套筒发给 SIPLACE 套筒维护团队。
为所有的套筒重复这些步骤。
小型维护
DLM 的维护任务 3.1.4 执行维护工作
22 预防性维护 SIPLACE DLM3 / DLM4
顺时针旋转孔洞中的 1.4 mm 钻头即可去除纵向真空
孔中的污物。旋转钻头即可清除孔洞中的污物。
借助 1.1 mm 的钻头并使用同样的程序即可清除横向
真空孔中的污物。
此步应穿戴实验室手套。
(1) 检查吸板是否损坏。如已损坏,请更换。
(2) 使用干燥的无绒布清洁套筒的吸板。
用沾有乙醇的无绒布清洁套筒的边缘 (1)
使用沾有乙醇的无绒布清洁套筒的增量盘 (2)