DLM3、DLM4预防性维护（2014年6月中文版）.pdf - 第22页
小型维护 DLM 的维护任务 3.1.4 执行维护工作 22 预防性维护 SIPLACE DLM3 / DLM4 ► 顺时针旋转孔洞中的 1.4 mm 钻头即可去除纵向真空 孔中的污物。旋转钻头即可清除孔 洞中的污物。 ► 借助 1.1 mm 的钻头并使用同 样的程序即可清除横向 真空孔中的污物。 ► 此步应穿戴实验室手套。 ► (1) 检查吸板是否损坏。如已损坏，请更 换。 ► (2) 使用干燥的无绒布清洁套筒的吸 板。 ► 用沾有乙…
小型维护
3.1.4 执行维护工作 DLM 的维护任务
预防性维护 SIPLACE DLM3 / DLM4 21
3.1.4.7
3.1.4.7 检查、清洁并为段位器光栅盘涂抹润滑脂
检查、清洁并为段位器光栅盘涂抹润滑脂
► 检查薄片是否损坏。
如已损坏，请将套筒发给 SIPLACE 套筒维护团队。
► (1) 在合适的容器中喷洒少量的铁氟龙润滑脂。
► (2) 在棉布上涂抹铁氟龙润滑脂。
注意
切勿使用喷雾罐直接将铁氟龙润滑脂喷洒在棉布上。单
独使用一个容器有助于避免施用过多的润滑脂及其对贴
片头造成的间接损害！
始终使用乙醇或异丙醇进行清洁。切勿使用白酒，不然
增量盘上就会出现条纹！
切勿使用可溶性硅清洁剂。
► (3) 将润湿的棉布沿着反旋转元件的槽擦拭。
► (1) 检查交换环是否可在套筒中轻松地移动。由此而
产生移动的装置不应与接触面产生粘连或摩擦。不
过，如果排除润滑的因素后还是会产生粘连或摩擦，
则请将套筒发给 SIPLACE 套筒维护团队。
► 为所有的套筒重复这些步骤。
小型维护
DLM 的维护任务 3.1.4 执行维护工作
22 预防性维护 SIPLACE DLM3 / DLM4
► 顺时针旋转孔洞中的 1.4 mm 钻头即可去除纵向真空
孔中的污物。旋转钻头即可清除孔洞中的污物。
► 借助 1.1 mm 的钻头并使用同样的程序即可清除横向
真空孔中的污物。
► 此步应穿戴实验室手套。
► (1) 检查吸板是否损坏。如已损坏，请更换。
► (2) 使用干燥的无绒布清洁套筒的吸板。
► 用沾有乙醇的无绒布清洁套筒的边缘 (1)。
► 使用沾有乙醇的无绒布清洁套筒的增量盘 (2)。
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3.1.4 执行维护工作 DLM 的维护任务
预防性维护 SIPLACE DLM3 / DLM4 23
► 使用沾有乙醇的无绒布清洁套筒轴 (1)。
► 使用沾有乙醇的棉布小心地清洁波子弹簧的圆周 (2)。