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Digital Microscope 16 17 大 型电动XY工作平台 产品阵容中还增加了具有100mm×100mm有效行程的高精度大型电动 XY级。 在 大 型样品的观察、宽视野的图像联接摄影等场景中，通过细致 的 平台控制来支持操作员。 双 光 源 照 明 可以从两个角度灵活照明高定向性LED照明，通过扩大照明的选 择（这是观察的重要因素），可以更清晰地投射出诸如平面树脂 和金属零件的细小不规则物，透明膜以及玻璃划痕之类的物体。 …
Digital Microscope
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Hirox Accessory Series
旋 转 镜 头
通过360°旋转的棱镜，实现从倾斜方向的动态光学3D实时观
察。根据这个，对形状的把握和细微的凹凸的发现等发挥效果。
角度可变旋转头可将棱镜的角度设定为4个等级（25，°35，°
45，°55°）。
可变照明
可以任意变更照明的照射角度（落射~侧面）。由于角度的变更，表面的凹凸
形状更容易观察，毛刺、伤痕等也能容易判别。
低倍率.高倍率
可以将变焦镜头所具备的倍率区域进一步扩展到低倍率区域、高
倍率区域。通过扩大1个镜头的变焦倍率，可以增加观察范围，可
以观察更多的对象物。
同轴落射
可
以在与透镜光轴平行照射照明的明视场照明中进行观察。对平面且反
射率高的镜面、研磨面等表面状态观察有效。
扩散照明
通过向所有方向扩散光，不具有方向性，对对象物均匀地照射光。在
抑
制强烈反射的同时，暗处会变亮。对引起环反射的灯泡和金属表面
等的观察有效。
偏光照明
通过切断特定光的波长，可以抑制反射光，从而清晰地描绘出物
体。当观察涂层表面下的涂层表面（如印刷品，基材和皮肤）
时，会显示出不可见的形态。
透射
偏光
可以在对象物下方照射照明的透射照明中进行偏振观察。对透明胶片、生
物、淀粉粉等的观察发挥效果。
特殊观察
可以在镜头和观测物接触后固定镜片的状态下观察抑制手部抖动
的效果。在对不能放置在载物台的大型样品、不易采集的样品等
不利条件观察时发挥效果。
QFP
布 料 焊缝熔深
HDD塑料污渍 汽车保险杠
电 机
注射针头
淀 粉 粒 子
Digital Microscope
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大
型电动XY工作平台
产品阵容中还增加了具有100mm×100mm有效行程的高精度大型电动
XY级。
在
大
型样品的观察、宽视野的图像联接摄影等场景中，通过细致
的
平台控制来支持操作员。
双 光 源 照 明
可以从两个角度灵活照明高定向性LED照明，通过扩大照明的选
择（这是观察的重要因素），可以更清晰地投射出诸如平面树脂
和金属零件的细小不规则物，透明膜以及玻璃划痕之类的物体。
旋 转 台
可以安装对晶圆观察有效的旋转台，可以通过挖掘固定4英
寸，5英寸和6英寸的尺寸。我们还可以处理8英寸或更大的尺
寸
。
Hirox Stand Series
高精度可倾斜角度支架
精确控制0.05㎛
新开发出电动XY台标准搭载的3轴电动角度支架。
Z轴支架附有粗微动切换开关，可以无缝且直观的操作。
支架的杆部倾斜到90°，也可以从正、侧面观察。
通过角度传感器也能识别角度倾斜观察。
XY移动平台为手动型、50×50mm电动型、
支持100×100mm电动类型的3种类型。
通过将透过照明内置在支架上
还支持落射、透射同时照明
全部用电动精密运转
通过各种传感器支持操作员，实现了无压力观察。
粗微动切换
透射平台装置
高度传感器
支架倾斜传感器
电动XY平台
50×50mm/
100×100mm
透射照明LED
汽 缸
封装部件 晶 圆
Digital Microscope
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Hirox Digital Microscope Series
可选型
三维数码显微系统系列
重新设计所有相机，镜头和支架，
我们新设计并开发了一套完整的数码显微镜系统。
为了详细响应用户的应用程序，我们列出了旗舰和标准两种型号，并设计了每种型号以根
据应用程序选择功能。
HRX-01
旗 舰 版
HRX-01是电脑连接使用5M相机，支持4k分辨率的数字显微镜。镜
头、底座全系支持支持电动控制，只要把对象物放到载物台上，
就可以不用触碰底座、镜片进行观察。另外，由于可以自由选择
与操作者的必要功能对应的系统，所以可以用必要最低限度的系
统来抑制初期投资，之后追加功能来扩展系统。
标 准 版
和HRX-01一样，RX-100是可以与电脑连接使用的系统。放大观察必要
的
，看，拍，测量的功能是充分具有的数字显微镜。完全覆盖了与旗舰
机型相同的观察倍率区域的镜头阵容。
RX-100