DECAN_L2_Maintenance(Chi_Ver6.3).pdf - 第54页
每周检查 Chap ter 4 Advanced Mult i- Func ti onal Place r DE CAN L 2 M ain te na nc e H an db oo k 4-3 Head Mirror清扫 维护工 具 空气喷射器 , 酒精 , 超细纤维布块 措施 Step 1. 参 考 详见 "4 . Front X - Frame 前面移动 " (第1 -3 页) 和 "" …
每周检查
Chapter 4
Advanced Multi-Functional Placer
DECAN L2 Maintenance Handbook
4-2
Head Fly Camera Lens清扫
每周检查
注 意
如果用力擦拭镜头，有可能损坏镜头表面。
Step 5. 参考 详见"3. 撤销紧急停止" (第1-10页)解除紧急停止后重新进
行作业
每周检查
Chapter 4
Advanced Multi-Functional Placer
DECAN L2 Maintenance Handbook
4-3
Head Mirror清扫
维护工具
空气喷射器,酒精,超细纤维布块
措施
Step 1. 参考详见"4. Front X-Frame 前面移动" (第1-3页) 和 ""Rear
X Frame 后面移动" (第1-7页)把各X Frame向两端进行移动。
Step 2. 按OP面板的'EMG'按钮停止作业后、依次按'STOP','RESET'按钮。
详细内容请参阅详见"2. 紧急停止" (第1-2页)
Step 3. 用空气喷射器清扫Mirror的灰尘。
Step 4. 如果没有完全消除杂物时、在干净的布沾少量的酒精后进行擦拭
注 意
如果用力擦拭或用不干净的布块擦拭，有可能损坏Mirror表面的涂层。
涂层损坏时，请咨询 C/S公司（STS）或当地代理商。
Step 5. 参考 详见"3. 撤销紧急停止" (第1-10页)解除紧急停止后重新进
行作业
Head
Mirror
清扫
(所需时间: 5分 / No. W-2)
每周检查
Chapter 4
Advanced Multi-Functional Placer
DECAN L2 Maintenance Handbook
4-4
Solenoid Valve的检查
每周检查
措施
Step 1. 在ANC上插入 CN040吸嘴
Step 2. 设 备 起 动 后 、把 ANC的CN040吸嘴安装到贴装头
Step 3. 选择MMI的"Diagnosis"菜 单 后 、选 择 "Vacuum"子菜单。
2
1
Solenoid
Valve
的检查
(所需时间: 20分 / No. W-3)