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操作手册 3- 11 1) 请把下图的各种传送 传感器的发光 面、 感光面 上 附着的灰尘 和垃圾清除干 净。 如果去不掉脏污 ，请沾少量的酒 精（ IPA ）进行清扫。 清扫部位 3-2- 2 各种传送传感器 实施频度 ：每月 清扫内容 清扫传感器视窗 使用工具：抹布 推荐溶剂 ： IPA IN,OUT 传 感器 WAIT ,STOP , C ・ OUT 传 感器
操作手册
3-10
3-2 清扫
1) 请检查Ｘ轴单元和Ｙ轴单元轨道上有无附着垃圾、灰尘，并清扫干净。
把润滑油擦去后，请涂抹新润滑油。
清扫部位
3-2-1 XY 轴直动单元
实施频度 ：每月
清扫内容 除去轨道、滚珠丝杠上的灰尘、脏润滑油
使用工具 ：
毛刷、抹布
使用润滑油 ：
LM 导轨：6459 润滑油 N
滚珠丝杠：NSL 润滑油
X 轴直动单元
Y 轴直动单元
操作手册
3-11
1) 请把下图的各种传送传感器的发光面、感光面上附着的灰尘和垃圾清除干净。
如果去不掉脏污，请沾少量的酒精（IPA）进行清扫。
清扫部位
3-2-2 各种传送传感器
实施频度 ：每月
清扫内容 清扫传感器视窗 使用工具：抹布
推荐溶剂 ：IPA
IN,OUT 传
感器
WAIT,STOP,C
・
OUT 传
感器
操作手册
3-12
1) 检查 CAL 块①的上面和第一标记②上有无灰尘等异物，有异物时请进行清扫。
若第一标记处有脏污，可能会导致 MS 参数误设置。
如果去不掉脏污，请沾少量酒精（IPA）进行清扫。
清扫部位
3-2-3 CAL 块
实施频度 ：每周
清扫内容 清扫 CAL 块 使用工具：抹布
推荐溶剂 ：IPA
①
②