FX-3 操作手册（操作员）.pdf - 第26页

操作手册 Rev00 2- 13 在〈步骤 2〉变更了挡块位置时，基板的外形基准位置（停止位置）会出现变化，需要重新对准「外形基准位置」。 ※ 必须事先「搬入」基板。请参见「支援准备２确认基板传送」。 ① 请按下按钮「外形基准位置」（入口／出口站点请都按同一操作方法操作）。 ② 显示「外形基准位置」设置画面。 ③ 请按下画面下的按钮「功能栏」－「示教」。支援准备 3 取得外形基准位置请在画面上把光标对准…

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2.请按下按钮「执行」。

基板即可传入·夹紧。

选择「搬出基板」，按下「执行」

后，基板即可搬出。

请确认是否保持与生产时的动作同步传送基板，传送动作是否有问题。

① 请按下按钮「基板传送」。

② 显示「基板传送」画面。

③ 把基板安装在ＩＮ缓冲，确认连续动作时基板流动是否顺畅。

1.请选择

「搬入」。

支援准备２确认基板传送

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在〈步骤 2〉变更了挡块位置时，基板的外形基准位置（停止位置）会出现变化，需要重新对准「外形

基准位置」。

※ 必须事先「搬入」基板。请参见「支援准备２确认基板传送」。

① 请按下按钮「外形基准位置」（入口／出口站点请都按同一操作方法操作）。

② 显示「外形基准位置」设置画面。

③ 请按下画面下的按钮「功能栏」－「示教」。

支援准备 3 取得外形基准位置

请在画面上把光标对准「停止挡销」

的「X」输入焦点上。

※ X 挡销＝挡块

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④ 显示「座标示教」画面。

挡块

基板

※

示教的详细说明，请参见『操作手册Ⅱ』

的「2-5-2 示教」。

注意

为避免人身伤害，操作中请绝对不要把手伸进装置内，脸部和头部也不可

靠近装置。

看着叠加画面（OCC 拍摄画面），直接触摸摄像

机图像，把基板和挡块的接触线位置移到监视器

的 X 方向中心，使之对准。