FX-3 操作手册（操作员）.pdf - 第27页
操作手册 Rev00 2- 14 ④ 显示「座标示教」画面。 挡块 基板 ※ 示教的详细说明，请参见『操作手册Ⅱ』 的「2-5-2 示教」 。 注意 为避免人身伤害，操作 中请绝对不要把手伸进装置内，脸部和头部 也不可 靠近装置。 看着叠加画面 （ OCC 拍摄画面） ， 直接触摸摄像 机图像， 把基板和挡块的接触线位置移到监视器 的 X 方向中心，使之对准。
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在〈步骤 2〉变更了挡块位置时，基板的外形基准位置（停止位置）会出现变化，需要重新对准「外形
基准位置」。
※ 必须事先「搬入」基板。请参见「支援准备 ２ 确认基板传送」。
① 请按下按钮「外形基准位置」（入口／出口站点请都按同一操作方法操作）。
② 显示「外形基准位置」设置画面。
③ 请按下画面下的按钮「功能栏」－「示教」。
支援准备 3 取得外形基准位置
请在画面上把光标对准「停止挡销」
的「X」输入焦点上。
※ X 挡销 ＝ 挡块
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④ 显示「座标示教」画面。
挡块
基板
※
示教的详细说明，请参见『操作手册Ⅱ』
的「2-5-2 示教」。
注意
为避免人身伤害，操作中请绝对不要把手伸进装置内，脸部和头部也不可
靠近装置。
看着叠加画面（OCC 拍摄画面），直接触摸摄像
机图像，把基板和挡块的接触线位置移到监视器
的 X 方向中心，使之对准。
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因基板批次不同，BOC 标记或基准领域标记有变化时，需要重新取得标记信息。
① 请按下按钮「标记数据示教」（各个站点请都按同一操作方法操作）。
② 显示「标记数据示教」画面。
※
有关 BOC
・
标记 基准领域标记的详细说明，请参见『操作手册Ⅱ』的「2-5-2-3 标记的示教」
的「BOC 标记位置、标记名称、形状」。
支援准备 4 标记示教
也可按下按钮 ，传送基
板。
在这里只确认「BOC 标记识别」
执行是否正确。请按按钮
。
请确认安全后，按下按钮