NXTIIIC电路图.pdf - 第29页
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ＮＡＭＥ ＰＡＧＥ
ベース回路図
BASE CIRCUIT DIAGRAM
１９
９
ＴＩＴＬＥ ＴＹＰＥ
インターフェース基板間Ｉ／Ｆ
INTERFACE BOARD BETWEEN I/F
ＮＸＴⅢｃ
ＤＲＡＷＩＮＧ Ｎｏ.
１
１
FUJI SECRET
2RGZBB008400
ＣＮＡ
Ｘ０００
－１
Ｘ００１
－２
－３
－４
－５
－６
－７
Ｘ０１Ｆ
－８
Ｙ００８
－９
－１０
－１１
－１２
－１３
－１４
ＩＮＴＥＲＦＡＣＥ ＢＯＡＲＤ １
インタフェース基板１ インタフェース基板２
ＩＮＴＥＲＦＡＣＥ ＢＯＡＲＤ ２
ＣＮＡ
Ｘ０００
－１
Ｘ００１
－２
－３
－４
－５
－６
－７
Ｘ０１Ｆ
－８
Ｙ００８
－９
－１０
－１１
－１２
－１３
－１４
４Ｍｃ
Ｘ００Ｅ Ｘ００Ｅ
Ｙ００２ Ｙ００２
Ｙ００３ Ｙ００３
Ｘ０１１ Ｘ０１１
Ｘ０１６ Ｘ０１６
Ｙ０１５ Ｙ０１５
ＣＮＢ ＣＮＢ
Ｘ００２ Ｘ００２
－１ －１
Ｘ００３ Ｘ００３
－２ －２
Ｘ００Ｆ Ｘ００Ｆ
－３ －３
Ｙ００Ｅ Ｙ００Ｅ
－４ －４
Ｙ００Ｆ Ｙ００Ｆ
－５ －５
Ｘ０１１ Ｘ０１１
－６ －６
Ｘ０１６ Ｘ０１６
－７ －７
Ｘ０１Ｆ Ｘ０１Ｆ
－８ －８
Ｙ００８ Ｙ００８
－９ －９
Ｙ０１５ Ｙ０１５
－１０ －１０
－１１ －１１
－１２ －１２
－１３ －１３
－１４ －１４
Zt2h816k
Zt2h816k
Downloaded at 2017/12/05 11:12:329 by 397B3171 DL#IK62Kg0n
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１０ ３４
１０ ３５
１０ ３６
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１０ ３８
１０ ３９
１０ ４０
１０ ４１
１０ ４２
１０ ４３
１０ ４４
１０ ４５
ＮＡＭＥ ＰＡＧＥ
ベース回路図
BASE CIRCUIT DIAGRAM
１９
１０
ＴＩＴＬＥ ＴＹＰＥ
機械間Ｉ／Ｆ
INTERFACE BETWEEN MACHINES
ＮＸＴⅢｃ
ＤＲＡＷＩＮＧ Ｎｏ.
１
２
FUJI SECRET
2RGZBB008500
ＡＤＤＲＥＳＳ
508
レーン１基板搬送コネクタ（前工程）
Ｌ１ＳＭＭ１
前工程への送れ信号（出力）
ＰＡＮＥＬ ＲＥＱ１
Ｌ１ＳＭＭ２
Ｌ１ＳＭＭ３
前工程からの基板あり信号（入力）
ＰＡＮＥＬ ＲＥＱ１
Ｌ１ＳＭＭ４
ＵＮＵＳＥＤ
ＵＮＵＳＥＤ
Ｌ１ＳＭＭ１１
前工程からの基板確認信号（入力）
ＰＡＮＥＬ ＲＥＱ１
Ｌ１ＳＭＭ１２
ＲＥＳＥＲＶＥ
ＲＥＳＥＲＶＥ
ＲＥＳＥＲＶＥ
ＲＥＳＥＲＶＥ
ＲＥＳＥＲＶＥ
ＲＥＳＥＲＶＥ
Ｌ１ＳＭＭ９
Ｌ１ＳＭＭ１０
Ｌ１ＳＭＭ１１／１３
Ｌ１ＳＭＭ１２／１４
Ｌ１ＳＭＭ１５
Ｌ１ＳＭＭ１６
Ｌ１ＳＭＭ１７
Ｌ１ＳＭＭ１８
Ｌ１ＳＭＭ１９
Ｌ１ＳＭＭ２０
ＣＮＡＬ１
－１
－２
－３
－４
－５
－６
－７
－８
－９
－１０
－１１
－１２
－１３
－１４
ＣＮ－ＣＶＩＦ－Ｆ
－１
－２
－３
－４
－５
－６
－７
－８
－９
－１０
ＲＳ－４８５
＋
－
Ｒ－
ＳＨＩＥＬＤ
Ｂ３／Ａ３
Ｂ４／Ａ４
Ｂ３／Ａ３
Ｂ４／Ａ４
追従許可信号
ＦＯＬＬＯＷ ＰＥＲＭＩＴ
ＳＭＭ１／ＳＭＭ５
ＳＭＭ２／ＳＭＭ６
ＳＭＭ３／ＳＭＭ７
ＳＭＭ４／ＳＭＭ８
ＳＭＭ１１／ＳＭＭ１３
ＳＭＭ１２／ＳＭＭ１４
ＳＭＭ１３／ＳＭＭ１１
ＳＭＭ１４／ＳＭＭ１２
ＳＭＭ１／ＳＭＭ５
ＳＭＭ２／ＳＭＭ６
ＳＭＭ３／ＳＭＭ７
ＳＭＭ４／ＳＭＭ８
ＳＭＭ１１／ＳＭＭ１３
ＳＭＭ１２／ＳＭＭ１４
ＳＭＭ１３／ＳＭＭ１１
ＳＭＭ１４／ＳＭＭ１２
前工程基板搬送Ｉ／Ｆ基板
ＲＳ－４８５
＋
－
ＳＨＩＥＬＤ
ＦＧ
ベースコントロールボックス１
＋２４ＶＭ６＋２４ＶＡ
ＢＡＳＥ ＣＯＮＴＲＯＬ ＢＯＸ １
ＧＭＧＡ
ＡＤ００
アドレス設定”０”電源
＋２４ＶＡ
ＰＯＷＥＲ
Ｘ０１２
ＡＤ０１
インターフェース基板１
Ｘ０１３ＡＤ０２
ＩＮＴＥＲＦＡＣＥ ＢＯＡＲＤ
Ｘ０１４
ＡＤ０３
レーン２基板搬送コネクタ（前工程）
Ｌ２ＳＭＭ１
前工程への送れ信号（出力）
ＰＡＮＥＬ ＲＥＱ１
Ｌ２ＳＭＭ２
Ｌ２ＳＭＭ３
前工程からの基板あり信号（入力）
ＰＡＮＥＬ ＲＥＱ１
Ｌ２ＳＭＭ４
ＵＮＵＳＥＤ
ＵＮＵＳＥＤ
Ｌ２ＳＭＭ１１
前工程からの基板確認信号（入力）
ＰＡＮＥＬ ＲＥＱ１
Ｌ２ＳＭＭ１２
ＲＥＳＥＲＶＥ
ＲＥＳＥＲＶＥ
ＲＥＳＥＲＶＥ
ＲＥＳＥＲＶＥ
ＲＥＳＥＲＶＥ
ＲＥＳＥＲＶＥ
Ｌ２ＳＭＭ９
Ｌ２ＳＭＭ１０
Ｌ２ＳＭＭ１１／１３
Ｌ２ＳＭＭ１２／１４
Ｌ２ＳＭＭ１５
Ｌ２ＳＭＭ１６
Ｌ２ＳＭＭ１７
Ｌ２ＳＭＭ１８
Ｌ２ＳＭＭ１９
Ｌ２ＳＭＭ２０
ＣＮＡＬ２
－１
－２
－３
－４
－５
－６
－７
－８
－９
－１０
－１１
－１２
－１３
－１４
ＣＮ－ＣＶＩＦ－Ｆ
－１１
－１２
－１３
－１４
－１５
－１６
－１７
－１８
－１９
－２０
ＬＡＮＥ２ ＰＡＮＥＬ ＴＲＡＮＳＦＥＲ ＣＯＮＮＥＣＴＯＲ（ＩＮ）
ＬＡＮＥ１ ＰＡＮＥＬ ＴＲＡＮＳＦＥＲ ＣＯＮＮＥＣＴＯＲ（ＩＮ）
ＣＮ２
－１
－２
－３
－４
ＣＮ４
－１
－２
－３
－４
－５
－６
－７
ＣＮ５
－１
－２
－３
－４
－５
－６
－７
－８
－９
－１０
－１１
－１２
－１３
－１４
－１５
－１６
－１７
－１８
－１９
－２０
－２１
－２２
ＣＮ１
－１
－２
－３
ＣＮ３
－１
－２
－３
－４
－５
－６
－７
－８
ＬＡＮＥ１ ＰＡＮＥＬ ＴＲＡＮＳＦＥＲ ＣＯＮＮＥＣＴＯＲ（ＯＵＴ）
レーン１基板搬送コネクタ（後工程）
レーン２基板搬送コネクタ（後工程）
ＬＡＮＥ２ ＰＡＮＥＬ ＴＲＡＮＳＦＥＲ ＣＯＮＮＥＣＴＯＲ（ＯＵＴ）
ＣＮ－Ｍ１
－１Ａ
－１Ｂ
－２Ａ
－２Ｂ
前工程インタフェース
ＰＲＥＶＩＯＵＳ ＩＮＴＥＲＦＡＣＥ
－３Ａ
－３Ｂ
－４Ａ
－４Ｂ
－５Ａ
－５Ｂ
－１Ｃ
－１Ｄ
－２Ｃ
－２Ｄ
－４Ｃ
－４Ｄ
－５Ｃ
－５Ｄ
ＰＲＥＶＩＯＵＳ ＰＡＮＥＬ ＴＲＡＮＳＦＥＲ Ｉ／Ｆ ＢＯＡＲＤ
モジュール１
インタフェース
ＭＯＤＵＬＥ１ ＩＮＴＥＲＦＡＣＥ
－３Ｄ
－３Ｃ
Address setting "0"
ＦＵＪＩ仕様
ＦＵＪＩ Ｓｔａｎｄａｒｄ
前工程側
Ｐｒｅｖｉｏｕｓ ｓｉｄｅ
レーン１ レーン２
ＬＡＮＥ１ ＬＡＮＥ２
ピンＮｏ． 送れ出力 送れ出力
Ｐｉｎ Ｎｏ．
Ｓｅｎｄ ｏｕｔｐｕｔ Ｓｅｎｄ ｏｕｔｐｕｔ
１ Ｌ１ＳＭＭ１ Ｌ２ＳＭＭ１
２ Ｌ１ＳＭＭ２ Ｌ２ＳＭＭ２
コネクタ
ＳＴＡＫ２
（Ｈｉｒｓｃｈｍａｎｎ）
ＳＴＡＫ２
（Ｈｉｒｓｃｈｍａｎｎ）
Ｃｏｎｎｅｃｔｏｒ
ＣＡＢＬＥ：０.３ｍ㎡ ＣＡＢＬＥ：０.３ｍ㎡
注）ＦＵＪＩ仕様はＣＮＡＬ１、ＣＮＡＬ２ に延長ハーネスを追加しての対応となります。
Notes)FUJI Standard serve as correspondence which adds extended harness to CNAL1 and CNAL2.
ＲＹ２，５は後工程時ＯＮします
RY 2 and 5 is turned on at the time of a back process.
ＲＹ２ ＲＹ１
ＲＹ３
＋２４Ｖ
０Ｖ
ＲＹ５ ＲＹ４
ＲＹ６
＋２４Ｖ
０Ｖ
ＣＮ２
ＣＮ８
＋２４ＶＭ１
－１
ＩＮＴＥＲＦＡＣＥ ＢＯＡＲＤ １
インタフェース基板１
Ｘ０１０
－２
Ａ９
－３
Ａ１０
－４
Ａ５
－５
Ａ６
－６
Ｍ１００３
－７
Ｍ１００４
－８
－９
－１０
－１１
－１２
Zt2h816k
Zt2h816k
Downloaded at 2017/12/05 11:12:329 by 397B3171 DL#IK62Kg0n
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１１ １７
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１１ ２０
１１ ２１
１１ ２２
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１１ ２４
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１１ ３０
１１ ３１
１１ ３２
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１１ ３４
１１ ３５
１１ ３６
１１ ３７
１１ ３８
１１ ３９
１１ ４０
１１ ４１
１１ ４２
１１ ４３
１１ ４４
１１ ４５
ＮＡＭＥ ＰＡＧＥ
ベース回路図
BASE CIRCUIT DIAGRAM
１９
１１
ＴＩＴＬＥ ＴＹＰＥ
機械間Ｉ／Ｆ
INTERFACE BETWEEN MACHINES
ＮＸＴⅢｃ
ＤＲＡＷＩＮＧ Ｎｏ.
２
２
FUJI SECRET
2RGZBB008500
ＡＤＤＲＥＳＳ
513
レーン１基板搬送コネクタ（後工程）
ＣＮＢＬ１
Ｌ１ＳＭＭ５
－１
後工程からの送れ信号（入力）
Ｌ１ＳＭＭ６
ＰＡＮＥＬ ＲＥＱ１
－２
Ｌ１ＳＭＭ７
－３
後工程への基板あり信号（出力）
Ｌ１ＳＭＭ８
ＰＡＮＥＬ ＲＥＱ１
－４ＣＮ－ＣＶＩＦ－Ｒ
ＵＮＵＳＥＤ
－１ －５
ＵＮＵＳＥＤ
－２ －６
Ｌ１ＳＭＭ１３
後工程への基板確認信号（出力）
－３ －７
Ｌ１ＳＭＭ１４
ＰＡＮＥＬ ＲＥＱ１
－４ －８
ＲＥＳＥＲＶＥ
－５ －９
ＲＥＳＥＲＶＥ
－６ －１０
ＲＥＳＥＲＶＥ
－７ －１１
ＲＥＳＥＲＶＥ
－８ －１２
ＲＥＳＥＲＶＥ
－９ －１３
ＲＥＳＥＲＶＥ
－１０ －１４
Ｌ１ＳＭＭ９
Ｌ１ＳＭＭ１０
Ｌ１ＳＭＭ１１／１３
Ｌ１ＳＭＭ１２／１４
Ｌ１ＳＭＭ１５
Ｌ１ＳＭＭ１６
Ｌ１ＳＭＭ１７
Ｌ１ＳＭＭ１８
Ｌ１ＳＭＭ１９
Ｌ１ＳＭＭ２０
ＬＡＮＥ１ ＰＡＮＥＬ ＴＲＡＮＳＦＥＲ ＣＯＮＮＥＣＴＯＲ（ＯＵＴ）
レーン２基板搬送コネクタ（後工程）
ＬＡＮＥ２ ＰＡＮＥＬ ＴＲＡＮＳＦＥＲ ＯＮＮＥＣＴＯＲ（ＯＵＴ）
ＣＮＢＬ２
Ｌ２ＳＭＭ５
後工程からの送れ信号（入力）
－１
Ｌ２ＳＭＭ６
ＰＡＮＥＬ ＲＥＱ１
－２
Ｌ２ＳＭＭ７
後工程への基板あり信号（出力）
－３
Ｌ２ＳＭＭ８
ＰＡＮＥＬ ＲＥＱ１
ＣＮ－ＣＶＩＦ－Ｒ －４
Ｌ２ＳＭＭ９
ＵＮＵＳＥＤ
－１１ －５
Ｌ２ＳＭＭ１０
ＵＮＵＳＥＤ
－１２ －６
Ｌ２ＳＭＭ１１／１３ Ｌ２ＳＭＭ１３
後工程への基板確認信号（出力）
－１３ －７
Ｌ２ＳＭＭ１２／１４ Ｌ２ＳＭＭ１４
ＰＡＮＥＬ ＲＥＱ１
－１４ －８
Ｌ２ＳＭＭ１５
ＲＥＳＥＲＶＥ
－１５ －９
Ｌ２ＳＭＭ１６
ＲＥＳＥＲＶＥ
－１６ －１０
Ｌ２ＳＭＭ１７
ＲＥＳＥＲＶＥ
－１７ －１１
Ｌ２ＳＭＭ１８
ＲＥＳＥＲＶＥ
－１８ －１２
Ｌ２ＳＭＭ１９
ＲＥＳＥＲＶＥ
－１９ －１３
Ｌ２ＳＭＭ２０
ＲＥＳＥＲＶＥ
－２０ －１４
ＣＮ－Ｍ２
－４Ｃ
－４Ｄ
－３Ｄ
－５Ｄ
後工程インタフェース
ＮＥＸＴ ＩＮＴＥＲＦＡＣＥ
－１Ａ
－１Ｂ
－２Ａ
－２Ｂ
－３Ａ
－３Ｂ
－４Ａ
－４Ｂ
－５Ａ
－５Ｂ
－１Ｃ
－１Ｄ
－２Ｃ
－２Ｄ
後工程基板搬送Ｉ／Ｆ基板
ＣＮ２
ＲＳ－４８５ＲＳ－４８５
ＣＮ１
＋＋
－１－１
－－
－２－２
Ｒ－ＳＨＩＥＬＤ
－３－３
ＳＨＩＥＬＤ
－４
ＦＧ
ＣＮ４ＣＮ３
ベースコントロールボックス１
Ｂ３／Ａ３＋２４ＶＡ＋２４ＶＭ６
－１－１
ＢＡＳＥ ＣＯＮＴＲＯＬ ＢＯＸ １
Ｂ４／Ａ４ＧＡＧＭ
－２－２
Ｂ３／Ａ３
－３－３
Ｂ４／Ａ４ＡＤ００
追従許可信号
－４
電源
－４
アドレス設定”Ｆ”
ＦＯＬＬＯＷ ＰＥＲＭＩＴ
＋２４ＶＡ
ＰＯＷＥＲ
－５－５
ＡＤ０１
－６－６
ＡＤ０２
－７－７
ＡＤ０３
－８
ＣＮ５
ＳＭＭ１／ＳＭＭ５
－１
ＳＭＭ２／ＳＭＭ６
－２
ＳＭＭ３／ＳＭＭ７
－３
ＳＭＭ４／ＳＭＭ８
－４
ＳＭＭ１１／ＳＭＭ１３
－５
ＳＭＭ１２／ＳＭＭ１４
－６
ＳＭＭ１３／ＳＭＭ１１
－７
ＳＭＭ１４／ＳＭＭ１２
－８
－９
－１０
ＳＭＭ１／ＳＭＭ５
－１１
ＳＭＭ２／ＳＭＭ６
－１２
ＳＭＭ３／ＳＭＭ７
－１３
ＳＭＭ４／ＳＭＭ８
－１４
ＳＭＭ１１／ＳＭＭ１３
－１５
ＳＭＭ１２／ＳＭＭ１４
－１６
ＳＭＭ１３／ＳＭＭ１１
－１７
ＳＭＭ１４／ＳＭＭ１２
－１８
－１９
－２０
－２１
－２２
レーン１基板搬送コネクタ（前工程）
ＬＡＮＥ１ ＰＡＮＥＬ ＴＲＡＮＳＦＥＲ ＣＯＮＮＥＣＴＯＲ（ＩＮ）
レーン２基板搬送コネクタ（前工程）
ＬＡＮＥ２ ＰＡＮＥＬ ＴＲＡＮＳＦＥＲ ＣＯＮＮＥＣＴＯＲ（ＩＮ）
ＮＥＸＴ ＰＡＮＥＬ ＴＲＡＮＳＦＥＲ Ｉ／Ｆ ＢＯＡＲＤ
モジュールｎ
インタフェース
ＭＯＤＵＬＥｎ ＩＮＴＥＲＦＡＣＥ
－５Ｃ
－３Ｃ
Address setting "F"
ＦＵＪＩ仕様
ＦＵＪＩ Ｓｔａｎｄａｒｄ
後工程側
Ｎｅｘｔ ｓｉｄｅ
レーン１ レーン２
ＬＡＮＥ１ ＬＡＮＥ２
ピンＮｏ． 送れ入力 送れ入力
Ｐｉｎ Ｎｏ．
Ｓｅｎｄ ｉｎｐｕｔ Ｓｅｎｄ ｉｎｐｕｔ
１ Ｌ１ＳＭＭ５ Ｌ２ＳＭＭ５
２ Ｌ１ＳＭＭ６ Ｌ２ＳＭＭ６
コネクタ
ＳＴＡＳ２
ＳＴＡＳＩ２
（Ｈｉｒｓｃｈｍａｎｎ）
ＳＴＡＳ２
ＳＴＡＳＩ２
（Ｈｉｒｓｃｈｍａｎｎ）
Ｃｏｎｎｅｃｔｏｒ
ＣＡＢＬＥ：０.３ｍ㎡ ＣＡＢＬＥ：０.３ｍ㎡
注）ＦＵＪＩ仕様はＣＮＢＬ１、ＣＮＢＬ２ に延長ハーネスを追加しての対応となります。
Notes)FUJI Standard serve as correspondence which adds extended harness to CNBL1 and CNBL2.
ＲＹ２，５は後工程時ＯＮします
RY 2 and 5 is turned on at the time of a back process.
ＲＹ２ＲＹ１
ＲＹ３
＋２４Ｖ
０Ｖ
ＲＹ５ＲＹ４
ＲＹ６
＋２４Ｖ
０Ｖ
インタフェース基板１（２）
ＩＮＴＥＲＦＡＣＥ ＢＯＡＲＤ １（２）
ＣＮ９
Ａ１１
－１
Ａ１２
－２
Ｂ９
－３
Ｘ０１１
－４
Ｍ１０１１
－５
Ｍ１０１２
－６
Ａ７
－７
Ａ８
－８
－９
－１０
－１１
－１２
４Ｍｃ２Ｍｃ
Zt2h816k
Zt2h816k
Downloaded at 2017/12/05 11:12:329 by 397B3171 DL#IK62Kg0n