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平成 18 年 4 月初版発行 Pu bli sh ed , Ap r. 20 06 CHIP MOUNTING SYSTEM 立体分解図 EXPLODED ILLUSTRA TION 編集及び発行所 Editing & Publishing Printed by T .H.I 不許複製 16 C-S279-12 0604-001

C-S279-12

0604-001

テーブル部

XY TABLE SECTION

Fig. 6-10

エア配管２

Air Piping 2

See Fig.1-1

Key No.2

See Fig.1-1

Key No.13

ADD

Key No. PART No. PART NAME Q’ty REMARKS

NOTE

C-S279-12

0604-001

6-10

8 630 003 7579 PIPE FITTINGS 1

659J--A03019H-A008

9 630 003 7937 PIPE FITTINGS 1

659J--A03019H-A009

10 630 003 7340 PIPE FITTINGS 1

659J--A03019H-A010

11 630 003 6985 PIPE FITTINGS 1

659J--A03019H-A011

12 630 123 3260 AIR LINE EQPT 1

659J--A03019H-A012

13 630 003 7302 PIPE FITTINGS 1

659J--A03019H-A013

14 630 000 7626 BOLT,HEX-SCT 2

659J--A03019H-A014

15 411 141 2905 WASHER SPR 4 2

659J--A03019H-A015

16 630 001 0213 WASHER 2

659J--A03019H-A016

17 630 137 8534 VALVE 1 SV112

659J--A03019H-A017

18 630 000 7558 BOLT,HEX-SCT 2

659J--A03019H-A018

19 411 141 2806 WASHER SPR 3 2

659J--A03019H-A019

20 630 001 0206 WASHER 2

659J--A03019H-A020

56 411 141 5807 WASHER F 3X6X0.5 2

659J--A03019H-A056

62 630 146 6545 ASSY,CORD 1

659FB-A03004V-A002

平成

年

月

初版発行

Published, Apr. 2006

CHIP MOUNTING SYSTEM

立体分解図

EXPLODED ILLUSTRATION

編集及び発行所

Editing & Publishing

Printed by T.H.I

不許複製

C-S279-12

0604-001