TH2690规格书.pdf - 第5页

Page 400-624-1 1 18  * 参数如有修改 恕不另行通知 以最新资料为准 微弱信号检测仪器 - 高阻计 飞安计 静电计 皮安表 d) 表面电阻 Rs 、表面电阻率 ρ s 测量 将电压源 Vs 施加到护环电极，在测试样品表面上的电流从保护电极流向主电极，表面电流被指定为 Im 。 表面电阻 Rs 可用公式 Rs=Vs/Im 计算。 从护环流向上电极的电流是泄露电流；然而这个电流会流入 Vs 的低侧，不会对用于计算 Rv…

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微弱信号检测仪器
-
高阻计
飞安计
静电计
皮安表
• 电阻率测量（选件）
TH2690系列可选配TH26090选件，进行电阻率测量。
a) 方案配置
b) TH26090电阻率测试盒
c) 体积电阻Rv、体积电阻率
ρ
v测量
将电压源Vs施加到上电极，指定流经测试样品的大电流为Im，随后体积电阻Rv用公式Rv=Vs/Im计算。
从测试样品流向保护电极的大电流和从上电极流向保护电极的表面电流都属于泄露电流；然而这些电流都会进入Vs的低侧，不会对用
于计算Rv的电流表电流(Im)的大小造成影响。
体积电阻率
ρ
v可用公式
ρ
v=EAR/STHxRv计算出，其中:
EAR = Effective area 有效面积
STH = Sample thickness 样品厚度。
序号 型号 名称 必选项 备注
1 TH2690 飞安表/静电计/高阻计主机
2 TH26090 电阻率测试盒
选件
3 备注 TH2690固件升级至最新
功能 说明
测试电压 0-
±
1000V
测试电极
Φ
26mm、
Φ
38mm、
Φ
50mm（标配），共3种可选
测试电流 0-10mA
接触压力 ≤10kg
测量参数 表面电阻Rs、表面电阻率
ρ
s、体电阻Rv、体电阻率
ρ
v
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400-624-1118
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高阻计
飞安计
静电计
皮安表
d) 表面电阻Rs、表面电阻率
ρ
s测量
将电压源Vs施加到护环电极，在测试样品表面上的电流从保护电极流向主电极，表面电流被指定为Im。
表面电阻Rs可用公式Rs=Vs/Im计算。
从护环流向上电极的电流是泄露电流；然而这个电流会流入Vs的低侧，不会对用于计算Rv的电流表电流(Im)的大小造成影响。
表面电阻可用公式
ρ
s=EPER/GLENxRs计算出，其中:
EPER = Effective perimeter 有效周长
GLEN = Gap length 间隔长度
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高阻计
飞安计
静电计
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技术参数
F31
产品型号
TH2690 TH2690A TH2690H TH2691 TH2691A TH2691H
显示
显示器
5.0
英寸
电容式触摸彩色
LCD
显示器
测量分辨率
6½
位
电流测量
量程 精度 分辨率 精度 分辨率 精度 分辨率 精度 分辨率 精度 分辨率 精度 分辨率
2pA ------ ------ ------ ------ ±(1%+5fA) 0.01fA ------ ------ ------ ------ ±(1%+5fA) 0.01fA
20pA ±(1%+5fA) 0.1fA ------ ------ ±(1%+5fA) 0.1fA ±(1%+5fA) 0.1fA ------ ------ ±(1%+5fA) 0.1fA
200pA ±(0.5%+5fA) 0.1fA ------ ------ ±(0.5%+5fA) 0.1fA ±(0.5%+5fA) 0.1fA ------ ------ ±(0.5%+5fA) 0.1fA
2nA ±(0.2%+50fA) 1fA ±(0.2%+50fA) 1fA ±(0.2%+50fA) 1fA ±(0.2%+50fA) 1fA ±(0.2%+50fA) 1fA ±(0.2%+50fA) 1fA
20nA ±(0.2%+3pA) 10fA ±(0.2%+3pA) 10fA ±(0.2%+3pA) 10fA ±(0.2%+3pA) 10fA ±(0.2%+3pA) 10fA ±(0.2%+3pA) 10fA
200nA ±(0.2%+5pA) 100fA ±(0.2%+5pA) 100fA ±(0.2%+5pA) 100fA ±(0.2%+5pA) 100fA ±(0.2%+5pA) 100fA ±(0.2%+5pA) 100fA
2μA ±(0.1%+50pA) 1pA ±(0.1%+50pA) 1pA ±(0.1%+50pA) 1pA ±(0.1%+50pA) 1pA ±(0.1%+50pA) 1pA ±(0.1%+50pA) 1pA
20μA
±(0.05%+500pA)
10pA ±(0.05%+500pA) 10pA ±(0.05%+500pA) 10pA ±(0.05%+500pA) 10pA ±(0.05%+500pA) 10pA
±(0.05%+500pA)
10pA
200μA ±(0.05%+5nA) 100pA ±(0.05%+5nA) 100pA ±(0.05%+5nA) 100pA ±(0.05%+5nA) 100pA ±(0.05%+5nA) 100pA ±(0.05%+5nA) 100pA
2mA ±(0.05%+50nA) 1nA ±(0.05%+50nA) 1nA ±(0.05%+50nA) 1nA ±(0.05%+50nA) 1nA ±(0.05%+50nA) 1nA ±(0.05%+50nA) 1nA
20mA
±(0.05%+500nA)
10nA ±(0.05%+500nA) 10nA ±(0.05%+500nA) 10nA ±(0.05%+500nA) 10nA ±(0.05%+500nA) 10nA
±(0.05%+500nA)
10nA
电阻测量
量程 精度 分辨率 精度 分辨率 精度 分辨率
------
1MΩ ±(0.135%+1Ω) 1Ω ±(0.135%+1Ω) 1Ω ±(0.135%+1Ω) 1Ω ------
10MΩ ±(0.135%+10Ω) 10Ω ±(0.135%+10Ω) 10Ω ±(0.135%+10Ω) 10Ω ------
100MΩ
±(0.185%+100Ω)
100Ω ±(0.185%+100Ω) 100Ω ±(0.185%+100Ω) 100Ω ------
1GΩ ±(0.285%+1kΩ) 1kΩ ±(0.285%+1kΩ) 1kΩ ±(0.285%+1kΩ) 1kΩ ------
10GΩ ±(0.41%+10kΩ) 10kΩ ±(0.41%+10kΩ) 10kΩ ±(0.41%+10kΩ) 10kΩ ------
100GΩ
±(0.41%+100kΩ)
100kΩ ±(0.41%+100kΩ) 100kΩ ±(0.41%+100kΩ) 100kΩ ------
1TΩ ±(0.45%+1MΩ) 1MΩ ±(0.45%+1MΩ) 1MΩ ±(0.45%+1MΩ) 1MΩ ------
10TΩ ±(0.75%+10MΩ) 10MΩ ------ ------ ±(0.75%+10MΩ) 10MΩ ------
100TΩ ±(2.6%+100MΩ) 100MΩ ------ ------ ±(0.75%+100MΩ) 100MΩ ------
1PΩ ------ ------ ------ ------ ±(2.6%+1GΩ) 1GΩ ------
量程 电流量程 电压源 电流量程 电压源 电流量程 电压源
------
1MΩ 200μA 20V 200μA 20V 200μA 20V ------
10MΩ 20μA 20V 20μA 20V 20μA 20V ------
100MΩ 2μA 20V 2μA 20V 2μA 20V ------
1GΩ 200nA 20V 200nA 20V 200nA 20V ------
10GΩ 20nA 20V 20nA 20V 20nA 20V ------
100GΩ 2nA 20V 2nA 20V 2nA 20V ------
1TΩ 2nA 200V 2nA 200V 2nA 200V ------
10TΩ 200pA 200V ------ ------ 200pA 200V ------
100TΩ 20pA 200V ------ ------ 20pA 200V ------
最大测
量电阻
100PΩ 1000TΩ 1000PΩ ------
电压测量（独立输入单元
)
量程 精度 分辨率
------
2V ±(0.05%+40μV) 1μV ------
20V ±(0.05%+400μV) 10μV ------
输入阻抗
>200TΩ ------
电荷测量（指标在
1s
内有效）
量程 精度 分辨率
------
精度 分辨率
------
2nC ±(0.5%+50fC) 1fC ------ ±(0.5%+50fC) 1fC ------
20nC ±(0.5%+500fC) 10fC ------ ±(0.5%+500fC) 10fC ------
200nC ±(0.5%+5pC) 100fC ------ ±(0.5%+5pC) 100fC ------
2μC ±(0.5%+50pC) 1pC ------ ±(0.5%+50pC) 1pC ------
电压源
量程 精度 分辨率
------
20V ±(0.05%+2mV) 700μV ------
1000V ±(0.05%+100mV) 35mV ------
量程 最大输出电流
------
20V ±20mA ------