NPM-W2 20170725.pdf - 第156页

21 キットレイアウト KIT LAYOUT - - U41 ( KEJM7DS-18-21 )

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20
キットリスト
KIT LIST
Kit Name
番号
Part No.
キット名
品　　番
No.
RankQ'ty
数量 ﾗﾝｸ
頁
Page
78
N610095857AB
MULTIFUNCTIONAL TRANSFER
UNIT:NPM
汎用型転写ユニット(メカ):NPM
1
O279
79
N610102174AA
MULTIFUNCTIONAL TRANSFER UNIT(H)
汎用型転写ユニット(制御)
1
O299
80
N610105847AA
SCRAPER
SCRAPER
1
O301
U40
--
( KEJM7DS-18-20 )
21
キットレイアウト
KIT LAYOUT
--
U41
( KEJM7DS-18-21 )
21
キットリスト
KIT LIST
Kit Name
番号
Part No.
キット名
品　　番
No.
RankQ'ty
数量 ﾗﾝｸ
頁
Page
81
N610072046AA
GAUGE 0-250micro/scale10micro
膜厚ゲージ 0-250μm/目盛10μm
1
O303
82
N610072047AA
GAUGE 0-500micro/scale20micro
膜厚ゲージ 0-500μm/目盛20μm
1
O305
83
N610076379AA
MAINTENANCE JIG:NPM
メンテナンス治具:NPM
1
O307
84
N610126470AB
Lubrication Set
給油セット
1
O309
85
N610105662AA
Attachment Case
付属品収納ケース
1
O311
86
N610102541AA
Unit Exchange Tool
ユニット交換工具
1
O313
87
N610133913AA
NOZZLE HOLDER REFRESH JIG 12Nz
ノズルホルダー清掃治具12Nzセット
1
O315
88
N610133914AA
NOZZLE HOLDER REFRESH JIG 16Nz
ノズルホルダー清掃治具16Nzセット
1
O317
U42
--
( KEJM7DS-18-21 )