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CONTENTS 目次 6. CONVEYOR 6. コンベア 6.1. SINGLE CONVEYOR 6.1. シングルコンベア 6.1.1. M3S-SINGLE CONVEYOR …………………………………………………… … 16 6.1.1. M3S- シングルコンベア………………………………………… … 16 6.1.2. M6S-SINGLE CONVEYOR …………………………………………………… … 54 6.1.2…

100%1 / 897
5. XY-ROBOT 5. XYロボット
5.1. X SLIDE 5.1. X-スライド
5.1.1. M3S-X SLIDE………………………………………………………………
308 5.1.1. M3S-Xスライド…………………………………………………
308
5.1.2. M6S-X SLIDE………………………………………………………………
320 5.1.2. M6S-Xスライド…………………………………………………
320
5.2. Y SLIDE 5.2. Y-スライド
5.2.1. M3S-Y SLIDE………………………………………………………………
328 5.2.1. M3S-Yスライド…………………………………………………
328
5.2.2. M6S-Y SLIDE………………………………………………………………
336 5.2.2. M6S-Yスライド…………………………………………………
336
CONTENTS 目次 
6. CONVEYOR 6. コンベア
6.1. SINGLE CONVEYOR 6.1. シングルコンベア
6.1.1. M3S-SINGLE CONVEYOR……………………………………………………
16 6.1.1. M3S-シングルコンベア…………………………………………
16
6.1.2. M6S-SINGLE CONVEYOR……………………………………………………
54 6.1.2. M6S-シングルコンベア…………………………………………
54
6.1.3. M6S-SINGLE CONVEYOR S…………………………………………………
94 6.1.3. M6S-シングルコンベア S………………………………………
94
6.2. DOUBLE CONVEYOR 6.2. ダブルコンベア
6.2.1. M3S-DOUBLE CONVEYOR……………………………………………………
118 6.2.1. M3S-ダブルコンベア……………………………………………
118
6.2.2. M6S-DOUBLE CONVEYOR……………………………………………………
180 6.2.2. M6S-ダブルコンベア……………………………………………
180
6.3. BACK-UP PINS 6.3. バックアップピン
6.3.1. M3S-AUTO BACK-UP PINS…………………………………………………
222 6.3.1. M3S-自動バックアップピン……………………………………
222
6.3.2. M6S-AUTO BACK-UP PINS…………………………………………………
224 6.3.2. M6S-自動バックアップピン……………………………………
224
6.3.3. M6S-AUTO BACK-UP PINS(SINGLE CONVEYOR S)………………………… 226 6.3.3. M6S-自動バックアップピン(シングルコンベア S)…………
226
6.3.4. SOFT BACK-UP PINS………………………………………………………
228 6.3.4. ソフトバックアップピン………………………………………
228
6.4. BACK UP PLATE 6.4. バックアップ プレート
6.4.1. M3S-BACK UP PLATE………………………………………………………
230 6.4.1. M3S-バックアップ プレート…………………………………
230
6.4.2. M6S-BACK UP PLATE………………………………………………………
234 6.4.2. M6S-バックアップ プレート…………………………………
234
6.5. PANEL POSITION CORRECTION FUNCTION 6.5. 基板停止位置補正機能
6.5.1. M3S-PANEL POSITION CORRECTION FUNCTION…………………………… 236 6.5.1. M3S-基板停止位置補正機能……………………………………
236
6.5.2. M6S-PANEL POSITION CORRECTION FUNCTION…………………………… 238 6.5.2. M6S-基板停止位置補正機能……………………………………
238
6.6. ROLLER CONVEYOR 6.6. ローラ搬送コンベア
6.6.1. M3S-ROLLER CONVEYOR(SINGLE CONVEYOR)……………………………… 240 6.6.1. M3S-ローラ搬送コンベア(シングルコンベア)………………
240
6.6.2. M3S-ROLLER CONVEYOR(DOUBLE CONVEYOR)……………………………… 242 6.6.2. M3S-ローラ搬送コンベア(ダブルコンベア)…………………
242
6.6.3. M6S-ROLLER CONVEYOR(SINGLE CONVEYOR)……………………………… 244 6.6.3. M6S-ローラ搬送コンベア(シングルコンベア)………………
244
6.6.4. M6S-ROLLER CONVEYOR(DOUBLE CONVEYOR)……………………………… 246 6.6.4. M6S-ローラ搬送コンベア(ダブルコンベア)…………………
246
CONTENTS 目次 
7. PARTS SUPPLY 7. 部品供給
7.1. DEVICE PALLET 7.1. デバイスパレット
7.1.1. M3S-DEVICE BASE…………………………………………………………
16 7.1.1. M3S-デバイス ベース…………………………………………
16
7.1.2. M3S-DEVICE PALLET………………………………………………………
22 7.1.2. M3S-デバイス パレット………………………………………
22
7.1.3. M3S-DEVICE PALLET(PALLET WITH BUCKET)……………………………
28 7.1.3. M3S-デバイス パレット(バケット付きパレットタイプ)…
28
7.1.4. M3S-DEVICE PALLET GUIDE………………………………………………
34 7.1.4. M3S-デバイスパレットガイド…………………………………
34
7.1.5. M6S-DEVICE BASE…………………………………………………………
36 7.1.5. M6S-デバイスベース……………………………………………
36
7.1.6. M6S-DEVICE PALLET………………………………………………………
44 7.1.6. M6S-デバイス パレット………………………………………
44
7.1.7. M6S-DEVICE PALLET(PALLET WITH BUCKET)……………………………
50 7.1.7. M6S-デバイス パレット(バケット付きパレットタイプ)…
50
7.1.8. M6S-DEVICE PALLET GUIDE………………………………………………
58 7.1.8. M6S-デバイスパレットガイド…………………………………
58
7.2. TRAY UNIT-L 7.2. トレイユニット-L
7.2.1. TRAY UNIT-L SHIFTER …………………………………………………… 60 7.2.1. トレイユニット-L シフタ部 …………………………………
60
7.2.2. TRAY UNIT-L TOWER ……………………………………………………… 76 7.2.2. トレイユニット-L タワー部 …………………………………
76
7.2.3. TRAY UNIT-L COVER ……………………………………………………… 102 7.2.3. トレイユニット-L カバー部 …………………………………
102
7.2.4. TRAY UNIT-L BODY ………………………………………………………
106 7.2.4. トレイユニット-L 本体部 ……………………………………
106
7.2.5. TRAY UNIT-L REJECT PARTS CONVEYOR ………………………………… 116 7.2.5. トレイユニット-L 部品排出コンベア部 ……………………
116
7.2.6. TRAY UNIT-L TRAY PALLET ……………………………………………… 120 7.2.6. トレイユニット-L トレイパレット部 ………………………
120
7.2.7. TRAY UNIT-L PNEUMATIC CIRCUIT DIAGRAM …………………………… 124 7.2.7. トレイユニット-L エアー配管図 ……………………………
124
7.2.8. TRAY UNIT-L REMOVER ……………………………………………………
128 7.2.8. トレイユニット-L リムーバ …………………………………
128
7.3. WASTE TAPE PROCESSING UNIT 7.3. 残テープ処理ユニット
7.3.1. M3S-WASTE TAPE PROCESSING UNIT……………………………………… 136 7.3.1. M3S-残テープ処理ユニット……………………………………
136
7.3.2. M3S-WASTE TAPE PROCESSING UNIT ATTACHMENTS……………………… 140 7.3.2. M3S-残テープ処理ユニット ダクト…………………………
140
7.3.3. M6S-WASTE TAPE PROCESSING UNIT……………………………………… 144 7.3.3. M6S-残テープ処理ユニット……………………………………
144
7.3.4. M6S-WASTE TAPE PROCESSING UNIT ATTACHMENTS……………………… 148 7.3.4. M6S-残テープ処理ユニット ダクト…………………………
148
7.3.5. M6S-WASTE TAPE PROCESSING UNIT ATTACHMENTS(for TRAY UNIT)
152 7.3.5. M6S-残テープ処理ユニット ダクト(トレイユニット用)…
152
7.3.6. WASTE TAPE BOX…………………………………………………………… 156 7.3.6. 残テープボックス………………………………………………
156
7.4. TRAY UNIT-M…………………………………………………………………………
158 7.4. トレイユニット-M…………………………………………………………
158