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9 3 X - Y T AB L E A L A R M l X Y T A B EL :在 D r i v er 上的顯示器得知是 否 有 異常 ,有 則為硬體異常 ,並 參考表格中 A l a r m c o de , 做故障排除; 若 無 , 則操 作 E z L I NK ,若 可以操 控 , 則硬體無問題 ,有 可能 是 軟體問題造成 X - Y T A B LE 異常 , 請 洽詢 F AE 人員 。 確認步驟如 下 : 3…

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2.2.5 Table 學系統
2.2.6 控盤
MEL Limit Switch_(LS1)
馬達_(Mo1)
Led Board
Motor Driver_(Dvx/Dvy)
Power Relay_(MC)
MOTION SLAVE
MODULE _(X/Y) Power Supply _(PS3/PS2/PS1)
LED Control
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3 X-Y TABLE ALARM
l XY TABEL:在 Driver 上的顯示器得知是異常,有則為硬體異常,並
參考表格中 Alarm code做故障排除;則操 EzLINK,若可以操
則硬體無問題,有可能軟體問題造成 X-Y TABLE 異常洽詢 FAE
人員確認步驟如:
3.1 檢看 DRIVER ERROR CODES
l LED 不是顯示這個畫面 MODE 切換
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