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8 2 . 2 .5 T a b l e 及 光 學系統 2 . 2 .6 電 控盤 M E L L i m i t S w i t c h _ ( L S 1 ) 馬達 _ ( M o 1 ) L e d B o a rd M o t o r D r i v e r _ ( D v x / D v y) P o w e r R e l a y _ ( M C ) M O T I ON S L A V E M ODU L E _ ( X…

7
2.2.3 斷路器
2.2.4 Inter Lock
斷路器_(NFB1)
斷路器_(NFB1)
上蓋安全鎖_1(KS1)
磁簧開關_1(MS1)

8
2.2.5 Table 及光學系統
2.2.6 電控盤
MEL Limit Switch_(LS1)
馬達_(Mo1)
Led Board
Motor Driver_(Dvx/Dvy)
Power Relay_(MC)
MOTION SLAVE
MODULE _(X/Y) Power Supply _(PS3/PS2/PS1)
LED Control

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3 X-Y TABLE ALARM
l XY TABEL:在 Driver 上的顯示器得知是否有異常,有則為硬體異常,並
參考表格中 Alarm code,做故障排除;若無,則操作 EzLINK,若可以操
控,則硬體無問題,有可能是軟體問題造成 X-Y TABLE 異常,請洽詢 FAE
人員。確認步驟如下:
3.1 檢看 DRIVER ERROR CODES
l 若 LED 不是顯示這個畫面,請按 MODE 鍵切換