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NPM- TT2 EJM1EC-MB-06M-03 基板传送带 2 3 ●基板检测传感器的各轨道 (6 个 ) ・ 透过类型 :4 个 ( 一对受光器和投光器为一 个 ) ・ 反射类型 :2 个 ●基板检测传感器 ( 透过型 ) 的单一型 / 双重型的区分方法 6-9 -3 : 透过类型 ( 单型 ) : 透过类型 ( 双型 ) : 反射类型 基板检测传感器的清扫 2 维修保养篇 6-9 确认基板检测传感器的位置和传感器类型 单型 双型…
NPM-TT2 EJM1EC-MB-06M-03
使用工具:棉棒 (MTNZ001268AA)
所需时间:8分钟
基板传送带 1
1
2
6-9-2
每
5
6
0
小
时
保
养
定
期
检
查
将传送带宽度调整
为150 mm(为了更
有利于操作)
(→ 『操作篇』P.2-5-4)
卸下托盘供料器或
者交换台车
●托盘供料器时(→P.14-8)
●交换台车时(→P.3-2)
顺序
3
NPM-TT2 EJM1EC-MB-06M-03
基板传送带 2
3
●基板检测传感器的各轨道(6 个)
・透过类型:4 个
(一对受光器和投光器为一 个)
・反射类型:2 个
●基板检测传感器(透过型)的单一型/双重型的区分方法
6-9-3
: 透过类型
(单型)
: 透过类型
(双型)
: 反射类型
基板检测传感器的清扫 2
维修保养篇
6-9
确认基板检测传感器的位置和传感器类型
单型 双型
检测部
NPM-TT2 EJM1EC-MB-06M-03
4
清扫基板检测传感器部
●基板检测传感器(透过型)的清扫，请用棉棒尖端碰触检测部后，如下图所示移动棉棒清除附
着物。
●在作业时，建议握持棉棒的尖端
附近。
【单型的清扫】
●请通过手感确认到棉棒尖
端接触到检测部后，上下
移动4、5次棉棒进行清扫。
【双型的清扫】
●请通过手感确认到棉棒尖
端接触到检测部后，上下
移动4、5次棉棒后进行清
扫。请对左右双方的检测
部都进行清扫。
●将清扫的检测部移动到左
右时，请通过手感确认中
央部的高度差。
检测部
检测部中央的高度差部
请用棉棒的尖端部 (1 mm左右)蘸上水后再进行清扫。
如果使用干燥的棉棒，有时将无法完全去除附着物。
注意
顺序
5
6-9-4
每
5
6
0
小
时
保
养
定
期
检
查
●基板检测传感器(反射型)的清扫，请用棉棒尖端碰触检测部后，如下图所示移动棉棒清除附
着物。
检测部