4. SM471_Maintenance_Handbook_Ver1.pdf - 第42页
SM471 M aintenance Handbook 42 Cha pter 4 Fas t & Fl ex ibl e Chip Sho ot er 3 5 4 주간 점검 4. <V alve Check> 버튼을 클릭하고,‘V alve Check’대화상자의 <T ry> 콤보박스에서 V acuum ON/OFF 횟수를 선택한 후 <T est> 버튼 클릭 5. 점검 결과 …
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주간 점검
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Chapter 4
Fast & Flexible Chip Shooter
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주간 점검
3. MMI의 ‘Diagnosis’메뉴를 선택하고, ‘Vacuum’하위메뉴 선택
Solenoid Valve 점검
조치
1. ANC에 CN040 Nozzle을 삽입
2. 장비를 작동시켜 ANC의 CN040 Nozzle을 Head에 장착
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4. <Valve Check> 버튼을 클릭하고,‘Valve Check’대화상자의 <Try> 콤보박스에서
Vacuum ON/OFF 횟수를 선택한 후 <Test> 버튼 클릭
5. 점검 결과 이상시 STS 또는 Local Agent로 연락하여 해당 Solenoid Valve를
교체
Solenoid Valve 점검 및 이상유무 확인과 관련된 자세한 사항은 Administrator’s
Guide의 “14.4 Vacuum’을 참조하십시오.
Vacuum Filter는 주간단위로 점검하시고 최대 6개월내 교환을 해야만 부품의
Pickup(흡착)을 위한 Vacuum이 정상적으로 형성됩니다.
솔레노이드 밸브는 소모품으로써 안정적인 작업을 위해서는 2년 주기로
솔레노이드 밸브를 교환하는 것을 권장합니다.
주 의
Chapter 4
주간 점검
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Chapter 4
Fast & Flexible Chip Shooter
주간 점검
4. Vacuum Filter에서 Tube 분리
Head Vacuum Filter 점검 및 교환
조치
1. “Front X Frmae의 전면이동 (Page 9)”과 “Rear X Frame의 후면이동
(Page 12)”을 참조하여 각각의 X Frame을 양쪽 끝으로 이동
2. OP패널의 ‘EMG’ 버튼을 눌러서 작업을 정지 후 ‘STOP’, ‘RESET’ 버튼을
차례대로 누르기. 자세한 사항은 “비상정지 하기 (Page 8)”참조
3. Vacuum Filter의 변색을 확인 (필터 변색 점검 주기: 권장 매월 1회)
Vacuum Filter 점검 후 또는 교환 후 Filter와 Tube와 조립상태 확인
주 의