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Chapte r 5 월간 점검 SM471 M aintenance Handbook 55 Cha pter 5 Fas t & Fl ex ibl e Chip Sho ot er 3. V acuum Filter를 T ube에서 분리하여 공간을 확보한 후 극세사 천을 이용하여 LM Guide Rail 및 Ball Screw를 청소 - Rear Head Assembley도 동일하게 작업합니다. 월간…

SM471 Maintenance Handbook
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Chapter 5
Fast & Flexible Chip Shooter
월간 점검
4. 청소 후 Main Switch를 On
이상 소음 및 동작 이상을 보인다면 다시 장비의 Main Switch를 OFF하고
Cooling Fan을 교환
장비의 Main Switch를 ON시 Cooling Fan이 작동하므로 손에 상해를
입을 수 있으며, Cable등을 잘못 만지면 감전의 위험이 있으므로 각별히
주의하여 작업
주 의
Cooling Fan의 교환 작업은 위험을 수반하므로 당사 C/S회사(STS) 또는
현지 대리점(Local Agent)으로 문의하여 조치
주 의

Chapter 5
월간 점검
SM471 Maintenance Handbook
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Chapter 5
Fast & Flexible Chip Shooter
3. Vacuum Filter를 Tube에서 분리하여 공간을 확보한 후 극세사 천을 이용하여
LM Guide Rail 및 Ball Screw를 청소
- Rear Head Assembley도 동일하게 작업합니다.
월간 점검
극세사 천, 편도붓, 주유기, Grease :EP2 (SHELL)
Head Spindle, Mirror CAM 청소 및 도포
유지보수 도구
조치
1. “Front X Frmae의 전면이동 (Page 9)”과 “Rear X Frame의 후면이동
(Page 12)”을 참조하여 각각의 X Frame을 양쪽 끝으로 이동
2. OP패널의 ‘EMG’ 버튼을 눌러서 작업을 정지 후 ‘STOP’, ‘RESET’ 버튼을
차례대로 누르기. 자세한 사항은 “비상정지 하기 (Page 8)”참조
4. 작은 편도붓을 사용하여 Grease를 도포
장비의 가동 환경이 가혹할 시 주유 상태를 자주 확인하여 주유하시기 바람
주 의

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Chapter 5
Fast & Flexible Chip Shooter
월간 점검
공기 분사기
Head Beam Splitter 점검 및 청소
유지보수 도구
조치
1. “Front X Frmae의 전면이동 (Page 9)”과 “Rear X Frame의 후면이동
(Page 12)”을 참조하여 각각의 X Frame을 양쪽 끝으로 이동
2. OP패널의 ‘EMG’ 버튼을 눌러서 작업을 정지 후 ‘STOP’, ‘RESET’ 버튼을
차례대로 누르기. 자세한 사항은 “비상정지 하기 (Page 8)”참조
3. Head 아랫쪽에서 공기 분사기를 이용하여 Beam Splitter를 청소
4. “비상정지 해제하기(Page 14)”를 참조하여 비상정지 해제하여 작업을 재진행