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はじめに
このたびは、日立ダイレクトドライブモジュラーマウンタ用多機能ヘッドをご購
入いただきまして、誠にありがとうございます。
ご使用の前に、必ずこの取扱説明書をよくお読みいただき、指示や注意を十分理
解され、安全に注意して正しくお使いください。
また、必要なときにすぐ参照できるように、取扱説明書を大切に保管してくださ
い。
1． 安全に関する注意事項は、安全警告記号
と、危険の度合いにより、[ 危険 ]
[ 警告 ] [ 注意 ] の見出し語とを組み合わせた、以下に示す見出しによって表
示しています。各表示の注意事項をよくご理解のうえ、安全には十分お気を
つけください。
安全警告記号
は、潜在的に人に危害を与える危険に注意を喚起するた
めに用いています。
起こり得る危害または死を回避するため、この記号の後に続く全ての安全
メッセージに従ってください。
危険
この表示は、警告が無視された場合に、死亡または重大な傷害を引き起こ
す可能性が高い、差し迫った危険の存在を示すことに用いています。
警告
この表示は、警告が無視された場合に、死亡または重大な傷害を引き起
こすかもしれない、潜在的な危険の存在を示すことに用いています。
注意
この表示は、警告が無視された場合に、比較的軽度の傷害、あるいは製
品の重大な損傷または周囲の設備への損害を引き起こすおそれのある、
潜在的な危険の存在を示すことに用いています。
2. この取扱説明書は、装置本体の取扱説明書と異なる点を説明しています。
この取扱説明書と装置本体の
取扱説明書を合わせてご使用ください。
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目 次
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ページ
はじめに ............................................................................................... 1
目 次 .................................................................................................... 3
1
. 概 要
.............................................................................................. 5
2. 仕 様
.............................................................................................. 5
2.1 標準付属部品リスト ............................................................... 8
3. 概観図 ............................................................................................ 9
4. 設置位置 ......................................................................................... 10
5. 段取りにおけるノズル交換 ............................................................ 11
6. 手動操作によるノズル交換 ............................................................ 14
7. ノズル配置データ .......................................................................... 16
8. ティーチング .................................................................................. 17
8.1 ヘッド回転角度軸 ................................................................... 17
8.2 ヘッド回転中心オフセット / 基準マーク位置教示 ................. 19
8.3 ノズルストッカオフセット ..................................................... 23
8.4 ヘッドノズル傾きオフセット ................................................. 27
9. 定期メンテナンス .......................................................................... 30
9.1 メンテナンス前の注意 ............................................................ 30
9.2 メンテナンス準備 ................................................................... 31
9.2.1 清掃の準備 ..................................................................... 31
9.2.2 給油の準備 ..................................................................... 32
10. メンテナンスチェックリスト ........................................................ 34
10.1 毎週メンテナンス ................................................................... 34
10.2 毎月メンテナンス ................................................................... 34
10.3 3 か月毎メンテナンス ............................................................. 34
11. メンテナンスか所 .......................................................................... 35
11.1 全体図 ..................................................................................... 35
11.2 各部メンテナンスの見方 ........................................................ 36
11.3 点検 / 清掃 / 給油か所 ............................................................. 37
11.3.1 ノズルストッカ ............................................................. 37
11.3.2 吸着ノズル ..................................................................... 38
11.3.3 装着ヘッド ..................................................................... 39
12. 真空フィルタの交換手順 ................................................................ 41
13. 消耗部品リスト .............................................................................. 43
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