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NPM-W X/WXS EJM9DC-MB-04O-0 0 4-2-12 -2 3 4 + + 2 2 ( 返回到主画面 ) 从设备上抽出发生错误的基板 实施抽取确认 ( 将会开始生产 )
NPM-WX/WXS EJM9DC-MB-04O-00
4-2-12-1
1
应对处理方法① 重新计测基板弯曲形
1
应对处理方法② 抽出错误基板
基板弯曲检测错误 1
生产
信息
操作手册
4-2-12
错误种类
应对处理方法
A:基板弯曲超出范围
①重新计测基板弯曲形状
②抽出错误基板
④基板弯曲计测示教
B:基板弯曲预想范围异常
①重新计测基板弯曲形状
②抽出错误基板
④基板弯曲计测示教
C:基板弯曲结果斜度异常
①重新计测基板弯曲形状
②抽出错误基板
③变更基板弯曲倾斜容许值
④基板弯曲计测示教
D:基板弯曲计测错误
④基板弯曲计测示教
E:基板弯曲不能补正
④基板弯曲计测示教
这里对高度传感器 (选购件) 检测到基板弯曲错误时的应对处理方法进行说明。
●基板弯曲导致的错误有下表中的5种，请根据错误种类用以下4种方法来操作。
返回到主菜单后，重新开始生产
请实施以下步骤。
NPM-WX/WXS EJM9DC-MB-04O-00
4-2-12-2
3
4
+
+
2
2
(返回到主画面)
从设备上抽出发生错误的基板
实施抽取确认
(将会开始生产)
NPM-WX/WXS EJM9DC-MB-04O-00
4-2-12-3
6
7
6
7
5
5
生产
信息
操作手册
4-2-12
基板弯曲检测错误 2
发生基板位置错误后
(将删除错误发生位置的基板信息)
(返回到生产准备动作画面)