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21 OM-1682 11.2 基板ストッパ 各レーン、各ブロックごとの基板ストッパに対する調整を行います。 デュアル搬送対応以外の説明については、 本体取扱説明書 SIGMA-G5 “3 巻1 章4.3.2基板ストッパ”を参照してください。 [1] Fig. 21 基板ストッパ [1] ブロック選択ボタン 操作を行う基板ストッパのあるレーンのブロックを選択します。 11.2 基板ストッパ 1 101-001
20
OM-1682
11.1 コンベア
各レーンのコンベア幅の一括段取替え、手動段取替えの調整操作を行いま
す。
デュアル搬送対応以外の説明については、本体取扱説明書
SIGMA-G5
“3
巻1 章4.3.1コンベア”を参照してください。
[1]
Fig. 20 コンベア
[1] コンベア選択ボタン
目標位置移動、基準位置調整または幅調整を行うコンベア部位（L コ
ンベア、A コンベア、B コンベア、R コンベア）を選択します。
11.1 コンベア
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11.2 基板ストッパ
各レーン、各ブロックごとの基板ストッパに対する調整を行います。
デュアル搬送対応以外の説明については、本体取扱説明書
SIGMA-G5
“3
巻1 章4.3.2基板ストッパ”を参照してください。
[1]
Fig. 21 基板ストッパ
[1] ブロック選択ボタン
操作を行う基板ストッパのあるレーンのブロックを選択します。
11.2 基板ストッパ
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12. 装置システム
1101-001
12. 装置システム
Fig. 22 オフセットデータ
注 意
装置出荷時に調整、設定されていますのでむやみに変更しないでくださ
い。
画面展開