YSH20_cwd_je.pdf

YSH20 Control W iring Diagram KJX/KJY -1201 (CWD)

100%1 / 37
YSH20
Control Wiring Diagram
KJX/KJY-1201 (CWD)
Table of contents
／目次
YSH20
P.󲅸 1󲅸 Over󲅸view󲅸／󲅸全体接続図
P.󲅸 2󲅸 Control󲅸box󲅸／󲅸コントローラー接続図
P.󲅸 3󲅸 I/O󲅸conveyor󲅸-1-󲅸／󲅸I/O󲅸コンベアー接続図󲅸-1-
P.󲅸 4󲅸 I/O󲅸conveyor󲅸-2-󲅸／󲅸I/O󲅸コンベアー接続図󲅸-2-
P.󲅸 5󲅸 I/O󲅸conveyor󲅸-3-󲅸／󲅸I/O󲅸コンベアー接続図󲅸-3-
P.󲅸 6󲅸 I/O󲅸conveyor󲅸-4-󲅸／󲅸I/O󲅸コンベアー接続図󲅸-4-
P.󲅸 7󲅸 I/O󲅸conveyor󲅸-5-󲅸／󲅸I/O󲅸コンベアー接続図󲅸-5-
P.󲅸 8󲅸 Head󲅸A(Type󲅸FF)󲅸／󲅸ヘッド󲅸A(FF タイプ )
P.󲅸 9󲅸 Head󲅸B(Type󲅸FF)󲅸／󲅸ヘッド󲅸B(FF タイプ )
P.󲅸10󲅸 Head󲅸A(Type󲅸4M)󲅸／󲅸ヘッド󲅸A(4M タイプ )
P.󲅸11󲅸 Head󲅸B(Type󲅸4M)󲅸／󲅸ヘッド󲅸B(4M タイプ )
P.󲅸12󲅸 Camera󲅸unit󲅸sel.󲅸／󲅸カメラユニット接続図
P.󲅸13󲅸 Operation󲅸panel󲅸sel.󲅸／󲅸オペレーションパネル接続図
P.󲅸14󲅸 Feeder󲅸Structure󲅸／󲅸フィーダー接続図
P.󲅸15󲅸 Ionizer󲅸assy(Option)󲅸／󲅸イオナイザー ( オプション )
P.󲅸16󲅸 Power󲅸transformer󲅸／󲅸電源トランス接続図
P.󲅸17󲅸 Power󲅸circuit󲅸-1-󲅸／󲅸電源回路図󲅸-1-
P.󲅸18󲅸 Power󲅸circuit󲅸-2-󲅸／󲅸電源回路図󲅸-2-
P.󲅸19󲅸 Emergency󲅸circuit(NO󲅸YWF)󲅸／󲅸非常停止回路図 (YWF なし )
P.󲅸20󲅸 Emergency󲅸circuit(with󲅸YWF)󲅸／󲅸非常停止回路図 (YWF あり )
P.󲅸21󲅸 Wafer󲅸table󲅸／󲅸ウェハーテーブル
P.󲅸22󲅸 Wafer󲅸elevation󲅸／󲅸ウェハーエレベーション
P.󲅸23󲅸 Wafer󲅸head󲅸／󲅸ウェハーヘッド
P.󲅸24󲅸 Wafer󲅸ejector󲅸／󲅸ウェハーエジェクター
P.󲅸25󲅸 Wafer󲅸heater󲅸／󲅸ウェハーヒーター
P.󲅸26󲅸 Wafer󲅸power󲅸circuit󲅸／󲅸ウェハー電源回路図
P.󲅸27󲅸 Wafer󲅸emergency󲅸circuit󲅸／󲅸ウェハー非常停止回路図
P.󲅸28󲅸 Air󲅸circuit󲅸／󲅸エアー回路図
P.󲅸29󲅸 Air󲅸circuit󲅸／󲅸エアー回路図
P.󲅸30󲅸 Air󲅸circuit󲅸／󲅸エアー回路図󲅸(4M)
P.󲅸31󲅸 Wiring󲅸parts󲅸list󲅸／󲅸配線部品表
Condential & Proprietary
Confidential & Proprietary
PAGE
Rating 6.5KVA MAX.
COMU
See Page 2
COMU
COMU
COMU
COMU
INPUT:
CONTROL BOX
OUTPUT:
CONTROL:1∼ 100V
AC50/60Hz 4.0A(MAX)
MOTOR:3∼ 220V
1∼ AC100V
DRIVER
Main Switch
Terminal
XB11
QS11 40A
3∼
QF11 20A
Main Breaker
TM11 3.77KVA
Transformer
3∼ AC220V
3∼ AC200V
3∼ AC220V
QF31 10A
3∼ AC220V
Filter
Noise
NF11
DC24V
Contactor
3∼ 50/60Hz
200/208/220/240
380/400/416V
TERMIANL
POWER TRANSFORMER
Protector
Circuit
3∼ 3∼ AC220V
CONVEYOR MOTOR
DRIVER
KM10
CH1CH2K2 K1
Safety Relay
EMERGENCY CIRCUIT
AC50/60Hz 9.3A(MAX)
STANDARD
3:2.30KW(TOTAL)
4:3.36KW(TOTAL)
3∼ 200V 0-375Hz
WITH YWF
3:2.30KW(TOTAL)
4:3.36KW(TOTAL)
3∼ 200V 0-375Hz
1:1.90KW(TOTAL)
2:1.90KW(TOTAL)
QF43 4A
QF21 10A
AC100V
AC100V
QF42 2A
1∼
QF12 15A
Main Breaker
1.75KVA(with UPS)
1.5KVA(STD)
TC11
Transformer
1∼1∼ AC100V1∼
KM51/KM51A
3∼ AC200V
Protector
Circuit
DC48V
Contactor
DC48V1∼ AC220V
QF41 5AGS31 600W 12.5A
KM12/KM12A
KM11/KM11A
Contactor
Power Supply
Power Supply
GS21 600W 27A
POWER CIRCUIT
QF44 4A
DC24V
DC48V
DC48V
DC24V
DC24V
DC24V
DC24V
DC48V
AC100V
QF22 5A
1∼ AC100V
GS22 300W 12.5A
Power Supply
FIX10
DC24V2
DC24V
DC24V2 DC24V2
COMU
HEAD SERVO UNIT A
HEAD SERVO UNIT B
COMU
COMU
DC48V
DC24V
DC48V
DC24V
DC48V
DC48V
Each Motors
USB MEMORY
CAMERA UNIT SEL.
I/O CONVEYOR
YWF(OPTION)
DC24V
DC24V
QF53 2A
QF54 2A
See YWF
INTERCONNECTION DIAGRAM
IONIZER ASSY(OPTION)
See Page 3-7
OPERATION PANEL SEL.
COMU
DC24V2
DC48V
DC24V
DC24V
QF51 3A
CAM
CAM
CAM
FEEDER
COMU
M19
QF32 Set 1.3A
(1.0-1.6A)
VACUUM PUMP 0.2kW
See Page 10:TYPE 4M
See Page 11:TYPE 4M
HEAD SENSOR,VALVE
HEAD SENSOR,VALVE
Z,R,CZ SERVO MOTOR
Z,R,CZ SERVO MOTOR
See Page 8:TYPE FF
See Page 9:TYPE FF
See Page 17
See Page 16
See Page 13
See Page 12
See Page 14
See Page 15
See Page 19, 20
CC.V3
1
OVER VIEW
YSH20