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T able of contents ／目次 YSH20 P.󲅸 1󲅸 Over󲅸view󲅸／󲅸全体接続図 P.󲅸 2󲅸 Control󲅸box󲅸／󲅸コントローラー接続図 P.󲅸 3󲅸 I/O󲅸conveyor󲅸-1-󲅸／󲅸I/O󲅸コンベアー接続図󲅸-1- P.󲅸 4󲅸 I/O󲅸conveyor󲅸-2-󲅸／󲅸I/O󲅸コンベアー接続図󲅸-2- P.󲅸 5󲅸 I/O󲅸conveyor…

YSH20

Control Wiring Diagram

KJX/KJY-1201 (CWD)

Table of contents

／目次

YSH20

P.󲅸 1󲅸 Over󲅸view󲅸／󲅸全体接続図

P.󲅸 2󲅸 Control󲅸box󲅸／󲅸コントローラー接続図

P.󲅸 3󲅸 I/O󲅸conveyor󲅸-1-󲅸／󲅸I/O󲅸コンベアー接続図󲅸-1-

P.󲅸 4󲅸 I/O󲅸conveyor󲅸-2-󲅸／󲅸I/O󲅸コンベアー接続図󲅸-2-

P.󲅸 5󲅸 I/O󲅸conveyor󲅸-3-󲅸／󲅸I/O󲅸コンベアー接続図󲅸-3-

P.󲅸 6󲅸 I/O󲅸conveyor󲅸-4-󲅸／󲅸I/O󲅸コンベアー接続図󲅸-4-

P.󲅸 7󲅸 I/O󲅸conveyor󲅸-5-󲅸／󲅸I/O󲅸コンベアー接続図󲅸-5-

P.󲅸 8󲅸 Head󲅸A(Type󲅸FF)󲅸／󲅸ヘッド󲅸A(FF タイプ )

P.󲅸 9󲅸 Head󲅸B(Type󲅸FF)󲅸／󲅸ヘッド󲅸B(FF タイプ )

P.󲅸10󲅸 Head󲅸A(Type󲅸4M)󲅸／󲅸ヘッド󲅸A(4M タイプ )

P.󲅸11󲅸 Head󲅸B(Type󲅸4M)󲅸／󲅸ヘッド󲅸B(4M タイプ )

P.󲅸12󲅸 Camera󲅸unit󲅸sel.󲅸／󲅸カメラユニット接続図

P.󲅸13󲅸 Operation󲅸panel󲅸sel.󲅸／󲅸オペレーションパネル接続図

P.󲅸14󲅸 Feeder󲅸Structure󲅸／󲅸フィーダー接続図

P.󲅸15󲅸 Ionizer󲅸assy(Option)󲅸／󲅸イオナイザー ( オプション )

P.󲅸16󲅸 Power󲅸transformer󲅸／󲅸電源トランス接続図

P.󲅸17󲅸 Power󲅸circuit󲅸-1-󲅸／󲅸電源回路図󲅸-1-

P.󲅸18󲅸 Power󲅸circuit󲅸-2-󲅸／󲅸電源回路図󲅸-2-

P.󲅸19󲅸 Emergency󲅸circuit(NO󲅸YWF)󲅸／󲅸非常停止回路図 (YWF なし )

P.󲅸20󲅸 Emergency󲅸circuit(with󲅸YWF)󲅸／󲅸非常停止回路図 (YWF あり )

P.󲅸21󲅸 Wafer󲅸table󲅸／󲅸ウェハーテーブル

P.󲅸22󲅸 Wafer󲅸elevation󲅸／󲅸ウェハーエレベーション

P.󲅸23󲅸 Wafer󲅸head󲅸／󲅸ウェハーヘッド

P.󲅸24󲅸 Wafer󲅸ejector󲅸／󲅸ウェハーエジェクター

P.󲅸25󲅸 Wafer󲅸heater󲅸／󲅸ウェハーヒーター

P.󲅸26󲅸 Wafer󲅸power󲅸circuit󲅸／󲅸ウェハー電源回路図

P.󲅸27󲅸 Wafer󲅸emergency󲅸circuit󲅸／󲅸ウェハー非常停止回路図

P.󲅸28󲅸 Air󲅸circuit󲅸／󲅸エアー回路図

P.󲅸29󲅸 Air󲅸circuit󲅸／󲅸エアー回路図

P.󲅸30󲅸 Air󲅸circuit󲅸／󲅸エアー回路図󲅸(4M)

P.󲅸31󲅸 Wiring󲅸parts󲅸list󲅸／󲅸配線部品表

Condential & Proprietary

Confidential & Proprietary

PAGE

Rating 6.5KVA MAX.

COMU

See Page 2

COMU

INPUT:

CONTROL BOX

OUTPUT:

CONTROL:1∼ 100V

AC50/60Hz 4.0A(MAX)

MOTOR:3∼ 220V

1∼ AC100V

DRIVER

Main Switch

Terminal

XB11

QS11 40A

3∼

QF11 20A

Main Breaker

TM11 3.77KVA

Transformer

3∼ AC220V

3∼ AC200V

3∼ AC220V

QF31 10A

3∼ AC220V

Filter

Noise

NF11

DC24V

Contactor

3∼ 50/60Hz

200/208/220/240

380/400/416V

TERMIANL

POWER TRANSFORMER

Protector

Circuit

3∼ 3∼ AC220V

CONVEYOR MOTOR

DRIVER

KM10

CH1CH2K2 K1

Safety Relay

EMERGENCY CIRCUIT

AC50/60Hz 9.3A(MAX)

STANDARD

3:2.30KW(TOTAL)

4:3.36KW(TOTAL)

3∼ 200V 0-375Hz

WITH YWF

3:2.30KW(TOTAL)

4:3.36KW(TOTAL)

3∼ 200V 0-375Hz

1:1.90KW(TOTAL)

2:1.90KW(TOTAL)

QF43 4A

QF21 10A

AC100V

QF42 2A

1∼

QF12 15A

Main Breaker

1.75KVA(with UPS)

1.5KVA(STD)

TC11

Transformer

1∼1∼ AC100V1∼

KM51/KM51A

3∼ AC200V

Protector

Circuit

DC48V

Contactor

DC48V1∼ AC220V

QF41 5AGS31 600W 12.5A

KM12/KM12A

KM11/KM11A

Contactor

Power Supply

GS21 600W 27A

POWER CIRCUIT

QF44 4A

DC24V

DC48V

DC24V

DC48V

AC100V

QF22 5A

1∼ AC100V

GS22 300W 12.5A

Power Supply

FIX10

DC24V2

DC24V

DC24V2 DC24V2

COMU

HEAD SERVO UNIT A

HEAD SERVO UNIT B

COMU

DC48V

DC24V

DC48V

DC24V

DC48V

Each Motors

USB MEMORY

CAMERA UNIT SEL.

I/O CONVEYOR

YWF(OPTION)

DC24V

QF53 2A

QF54 2A

See YWF

INTERCONNECTION DIAGRAM

IONIZER ASSY(OPTION)

See Page 3-7

OPERATION PANEL SEL.

COMU

DC24V2

DC48V

DC24V

QF51 3A

CAM

FEEDER

COMU

M19

QF32 Set 1.3A

(1.0-1.6A)

VACUUM PUMP 0.2kW

See Page 10:TYPE 4M

See Page 11:TYPE 4M

HEAD SENSOR,VALVE

Z,R,CZ SERVO MOTOR

See Page 8:TYPE FF

See Page 9:TYPE FF

See Page 17

See Page 16

See Page 13

See Page 12

See Page 14

See Page 15

See Page 19, 20

CC.V3

OVER VIEW

YSH20