JUKYX-193-5100_G5S2.pdf - 第59页
193-5100 JUKYX 1-9 5 1 2 3 4 6 本体より Fig_1-17S
193-5100
JUKYX
1-8
A
V
P
R
A
P
ノズル2
ノズル15ノズル1
A
V
P
A
V
P
バルブ
フィルタ
ロータ リージョイント
φ４継手
φ８継手
φ8
φ4
φ８継手
φ４継手
φ６継手
バルブ
ロケットケーブル
3
2
1
4
5
6
本体より
Fig_1-15S
193-5100
JUKYX
1-9
5
1
2
3
4
6
本体より
Fig_1-17S
193-5100
JUKYX
1-10
Nozzle 3
5
6
7
14
9
13
15
SETUP
0.025MPa
2
3
1
Air IN
Vacuum
11
Nozzle 1
5
6
7
10
8
12
14
9
13
15
Nozzle 2
5
6
7
14
9
13
15
Fig_1-19S_A