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193-5100 JUKYX 2-14 記 号 名 称 記 号 名 称 Y_SH ノズルストッカ 2 シャッタ開閉 1 Y_UP1 高速ノズルストッカ 2 上昇 1 B_DWN1 高速ノズルストッカ 2 ユニット下限検出 1 B_SH1 高速ノズルストッカ 2 シャッタ閉確認 1 B_CMP1 高速ノズルストッカ 2 クランプ確認 1 B_CMP1 B_DW…
193-5100
JUKYX
2-13
記 号 名 称 記 号 名 称
M33 ヘッド上下 (HL) モータ
B0711 ヘッド上下 (-) オーバーラン
M33
B0711
Fig_2-13S
193-5100
JUKYX
2-14
記 号 名 称 記 号 名 称
Y_SH ノズルストッカ 2 シャッタ開閉 1
Y_UP1 高速ノズルストッカ 2 上昇 1
B_DWN1 高速ノズルストッカ 2 ユニット下限検出 1
B_SH1 高速ノズルストッカ 2 シャッタ閉確認 1
B_CMP1 高速ノズルストッカ 2 クランプ確認 1
B_CMP1
B_DWN1
B_SH1
Y_OP1
Y_SH
Fig_2-14S
193-5100
JUKYX
2-15
記 号 名 称 記 号 名 称
M41 NL-L B11002 左基板検出センサ
M42 NA-L B21002 中基板検出センサ
M43 NR-L B11003 左基板ファイバセンサ
M44 NA-W B21003 右基板ファイバセンサ
B0836 バックアップピン検出センサ受光 B11004 右基板検出センサ
B0836T バックアップピン検出センサ投光 B0830 左基板ストッパ 下限検出
B0831 左基板ストッパ 上限検出
B0832 右基板ストッパ 下限検出
B0833 右基板ストッパ 上限検出
M41 M42 M43
B11002
B21002
B0830
B0831
B11004
B0832
B0833
B11003 B21003
M44
B0836
B0836T
Fig_2-15SA