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50 PTS-NXT2-04JE Vol.1

H04-NEXTA-NOZZLESTATION(forTRAYUNIT-LT)

H04-NEXTA-ノズルステーション(トレイユニット-LT用)

UL04201

No. Drg.No.&CodeNo. QTY Description Rating

Materials

Remarks

番号図番&ｺｰﾄﾞ番号個数品名規格材質備考

1 AA5GA03 1 HOLDER ホルダ OT

2 PS00992 2 SHEET シート OT ConsumableParts

3 PX07210 1 SEAL,BARCODE シールバーコード OT unitserialnumber

4 PX07201 1 SEAL,BARCODE シールバーコード OT unitserialnumber

5 AA5FY02 1 GUIDE ガイド OT

6 H5289A 2 BOLT,HEXSOCKET ボルト六角穴 M04X012 FE

7 W1011A 2 WASHER,CONICAL ワッシャ皿 M-4-L FE

8 AA96706 1 BLOCK ブロック OT

9 H5276A 2 BOLT,HEXSOCKET ボルト六角穴 M03X010 FE

10 W1010A 2 WASHER,CONICAL ワッシャ皿 M-3-L FE

11 PZ29951 9 BOLT ボルト OT

12 PM85634 9 WASHER ワッシャ FE

13 PB85060 1 SHUTTER シャッタ FE

14 PM04923 1 PIN ピン FE

15 PZ05022 1 SPRING,TENSION ス

プ

リン

グ

引張 FE

PTS-NXT2-04JE

Vol.1

PTS-NXT2-04JE

Vol.1

H04-NEPTA-NOZZLESTATION(forTRAYUNIT-LT,withCOPLANARITYSENSOR)

H04-NEPTA-ノズルステーション(トレイユニット-LT用、コプラナリティセンサ有)

UL04601

No. Drg.No.&CodeNo. QTY Description Rating

Materials

Remarks

番号図番&ｺｰﾄﾞ番号個数品名規格材質備考

1 AA5FZ03 1 HOLDER ホルダ OT

2 PS00772 1 SHEET シート OT ConsumableParts

3 PX07231 1 SEAL,BARCODE シールバーコード OT unitserialnumber

4 PX07221 1 SEAL,BARCODE シールバーコード OT unitserialnumber

5 AA5FY02 1 GUIDE ガイド OT

6 H5289A 2 BOLT,HEXSOCKET ボルト六角穴 M04X012 AL

7 W1011A 2 WASHER,CONICAL ワッシャ皿 M-4-L OT

8 AA96706 1 BLOCK ブロック OT

9 H5276A 2 BOLT,HEXSOCKET ボルト六角穴 M03X010 FE

10 W1010A 2 WASHER,CONICAL ワッシャ皿 M-3-L FE

11 PZ29951 8 BOLT ボルト OT

12 PM85634 8 WASHER ワッシャ FE

13 PB85071 1 SHUTTER シャッタ FE

14 PM04923 1 PIN ピン FE

15 PZ05022 1 SPRING,TENSION ス

プ

リン

グ

引張 FE

PTS-NXT2-04JE

Vol.1