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H04-NEPTA-NOZZLESTATION(forTRAYUNIT-LT,withCOPLANARITYSENSOR) H04-NE PTA- ノズル ステ ーション (トレ イユニッ ト-L T用、 コプラ ナリティ センサ 有) UL04601 No. Drg.No.&CodeNo. Q TY Description Rating Materials Remarks 番号 図番 &ｺｰﾄﾞ …

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H04-NEPTA-NOZZLESTATION(forTRAYUNIT-LT,withCOPLANARITYSENSOR)
H04-NEPTA-ノズルステーション(トレイユニット-LT用、コプラナリティセンサ有)
UL04601
No. Drg.No.&CodeNo. QTY Description Rating
Materials
Remarks
番号 図番&ｺｰﾄﾞ番号 個数 品名 規格 材質 備考
1 AA5FZ03 1 HOLDER ホルダ OT
2 PS00772 1 SHEET シート OT ConsumableParts
3 PX07231 1 SEAL,BARCODE シールバーコード OT unitserialnumber
4 PX07221 1 SEAL,BARCODE シールバーコード OT unitserialnumber
5 AA5FY02 1 GUIDE ガイド OT
6 H5289A 2 BOLT,HEXSOCKET ボルト六角穴 M04X012 AL
7 W1011A 2 WASHER,CONICAL ワッシャ皿 M-4-L OT
8 AA96706 1 BLOCK ブロック OT
9 H5276A 2 BOLT,HEXSOCKET ボルト六角穴 M03X010 FE
10 W1010A 2 WASHER,CONICAL ワッシャ皿 M-3-L FE
11 PZ29951 8 BOLT ボルト OT
12 PM85634 8 WASHER ワッシャ FE
13 PB85071 1 SHUTTER シャッタ FE
14 PM04923 1 PIN ピン FE
15 PZ05022 1 SPRING,TENSION ス
プ
リン
グ
引張 FE
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