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H01/H02-NCFTA-NOZZLESTATION(forTRAYUNIT-LT,withCOPLANARITYSENSOR) H01/H0 2-NCFT A-ノ ズルス テーシ ョン( トレイ ユニッ ト-L T用、 コプラナ リティセ ンサ有 ) UL03902 No. Drg.No.&CodeNo. Q TY Description Rating Materials Remarks 番号 図番 &a…

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H01/H02-NCFTA-NOZZLESTATION(forTRAYUNIT-LT,withCOPLANARITYSENSOR)
H01/H02-NCFTA-ノズルステーション(トレイユニット-LT用、コプラナリティセンサ有)
UL03902
No. Drg.No.&CodeNo. QTY Description Rating
Materials
Remarks
番号 図番&ｺｰﾄﾞ番号 個数 品名 規格 材質 備考
1 PB06ER0 1 SHUTTER シャッタ FE
2 PX00091 1 NAMEPLATE 銘板 PL
3 PM34585 5 PIN,GUIDE ピンガイド FE
4 PZ29951 5 BOLT ボルト OT
5 AA94S00 1 HOLDER ホルダ OT
6 AA96706 1 BLOCK ブロック OT
7 H5276A 2 BOLT,HEXSOCKET ボルト六角穴 M03X010 FE
8 W1010A 2 WASHER,CONICAL ワッシャ皿 M-3-L FE
9 PM04923 1 PIN ピン FE
10 AA0HK05 1 GUIDE ガイド OT
11 H5288A 2 BOLT,HEXSOCKET ボルト六角穴 M04X010 FE
12 W1011A 2 WASHER,CONICAL ワッシャ皿 M-4-L FE
13 PB20141 1 DOG,SW ドッグＳＷ FE
14 K51756 4 SCREW,C/RPAN 小ネジ十穴鍋 M02.5X005ｽﾃﾝﾚｽ FE
15 W1020H 4 WASHER,LOCK ワッシャスプリング 2.5M/M FE
16 PX07182 1 SEAL,BARCODE シールバーコード OT unitserialnumber
17 PX07191 1 SEAL,BARCODE シールバーコード OT unitserialnumber
18 PS02850 2 SHEET シート PL ConsumableParts
19 PZ05022 1 SPRING,TENSION ス
プ
リン
グ
引張 FE
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