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3-18 3 9 메인 샤 프 트 의 방 향 을 바 꿉니 다 . 로터 리헤 드탈장 착지 그 를사 용 하기수 월하 도 록 홈을정 면 으로향하도 록방향을바 꿔주십시 오 . 57 3B 5-N 5-00 0 로터리 헤드 탈 장 착 지그를 장착 합 니 다. 로터 리 의핀과홈이서 로맞 도 록끼 워주십시 오 .  처 음 과마지 막헤드의사이에 「F 」 가보 입 니 다 .…

3-17

IPA 의 제거상태를 확인합니다 .

샤프트를상하로동작시켜서IPA 가완전히제거

되어있는지확인해주십시오 .

573B2- N5 - 00

요점

IPA 가 남아 있을 경우에는 , 에어 블로우를 다시 해 주십

시오 .

스프링부에 급유합니다 .

급유용실린지 (KV8-M8870-00X) 와터빈유

(VG32) 를사용해서급유합니다 .

1. 실린지의선단을터빈유에5~10mm 정도담

궜다가빼서 ,적량의터빈유 (2.3 μℓ／ 2mg)

를묻혀서우측그림과같이한방울도포합니

다.

2. 샤프트를몇차례상하로움직여서터빈유가

균일하게스며들도록합니다 .

3. 같은방법으로다른샤프트에도실시해주십시

오.

573B3 - N5-0 0

요점

• 급유용 실린지가 없을 경우는 , 정밀 드라이버 등의

선단을 사용해서 터빈유를 도포합니다 .

• 유분이 많을 경우는 , 먼지 등이 나지 않는 종이 와이퍼

로 닦아 주십시오 .

주의

샤프트의움직임이원활하지않을경우는 ,전술의「2.1.1로

터리부의청소」를참조해서청소해주십시오 .

경고

스프링부의 유분이 적절하지 않으면 , 생산중에 유분이

낙하해서 제품에 부착될 우려가 있습니다 .

메인 홀더에 구리스를 도포합니다 .

우측그림의로터리서포트부에구리스 (LG2) 를

엷게도포해주십시오 .

573B4- N5 -00

IPA 제거상태 확인

Step 6

샤프트

스프링부의 급유

Step 7

5∼10mm

터빈유(1방울)

급유용 실린지

급유 개소

용기

터빈유

구리스 도포

Step 8

구리스 도포 부위

(로터리 서포트부)

3-18

메인 샤프트의 방향을 바꿉니다 .

로터리헤드탈장착지그를사용하기수월하도록

홈을정면으로향하도록방향을바꿔주십시오 .

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로터리 헤드 탈장착 지그를 장착합니

다.

로터리의핀과홈이서로맞도록끼워주십시오 .

처음과마지막헤드의사이에「F」가보입니다 .

573B6-N5- 0 0

메인 샤프트에 로터리를 끼웁니다 .

로터리헤드탈장착지그의「F」와샤프트의홈이

맞는지확인하고 ,끼워주십시오 .

573B 7-N5-00

로터리 헤드 탈장착 지그를 탈착합니

다.

스프링 홀더를 장착합니다 .

Step1 과반대순서로스프링홀더를끼워주십시

오.

로터리의 장착상태를 확인합니다 .

손으로로터리를좌우양방향으로한바퀴돌려주

십시오 .도중에걸림이있을경우는 ,재차로터리

를빼주십시오 .고정블록의위치를확인하고

Step9 부터같은순서대로다시장착해주십시오 .

지그의 장착

Step 10

핀

첫번째 헤드

마지막 헤드

홈

로터리의 장착

Step 11

메인 샤프트 홈

「F」각인

메인 샤프트의 방향변경

Step 9

메인 샤프트 홈

로터리 헤드 탈장착 지그

3-19

2.2 X 축부

X 축의 점검•청소• 급유방법에 대하여 설명합니다 . 급유개소와 급유형태에 관해서는 , 제 5 장「급유개소

일람」을 참조해 주십시오 . 구리스건( 표준노즐과 굽은타입 노즐) 과 지정 구리스 (NSL) 를 준비해 주십시오 .

2.2.1 X 축 볼스크류의 청소

•

급 유（ 4 빔）

작업 준비를 합니다 .

1. 손목시계 ,자기ID 카드등 ,자력에영향을받는물건은전부빼둡니다 .

2.「EMERGENCYSTOP」버튼을눌러서장비를비상정지상태로합니다 .

3. 대차클램프스위치로대차를내려서탈착합니다 .

4. 사각건을Y 축리니어부와푸쉬업플레이트위에깔아둡니다 .

구리스 비산방지 커버를 분리합니다 .

X 축의구리스비산방지커버를떼어내주십시오 .

1. 십자드라이버로구리스비산방지커버 ( 장비

중앙쪽 ) 의고정나사를뺍니다 .

2. 구리스비산방지커버를장비의중앙쪽으로당

겨서떼어냅니다 .

57311-N5 - 00

참고

X 축의 구리스 비산방지 커버를 부착할 때에는 , 상기의 반

대 순서로 작업해 주십시오 . 모터쪽은 선단을 밀어넣는 타

입으로 되어 있습니다 .

볼스크류부를 청소합니다 .

1. 이동핸들을잡고헤드유닛을한쪽으로이동

시킵니다 .

2. 볼스크류전체를먼지가나지않는종이와이

퍼 ( 크린룸용 ) 로오래된구리스와더러움을

닦습니다 .

3. 헤드유닛을반대쪽으로이동시켜서 ,반대쪽

의볼스크류도닦습니다 .

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요점

청소 작업시에는 볼스크류의 리드홈도 깨끗하게 닦아 주십

시오 . 또한 , 이물질의 부착 여부도 확인하여 주십시오 .

비산방지 커버의 분리

Step 2

비산방지 커버

커버 고정나사

볼스크류의 청소

Step 3

종이 와이퍼

볼스크류