YSM40_Mainte_K.pdf - 第93页

3-24 3 6 리니어 스 케일부 를 청소합니다 . 종이와이퍼등 으로닦 아주십시 오 .  더 러 움이심할경 우 는 ,IPA 를적신와이퍼 로  우측그 림과같이일 정 방향으로닦 은후에종이 와이퍼 로닦아주 십 시 오 . 57 317 - N5 - 0 0 c 주의  리 니 어스케일 부를청 소 할때 에 는 ,너무세 게닦 지마 십시 오 . 리니어 스케일의…

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3-23
3
2.2.3 X 축 가이드의 청소
•
급유 (4 빔 )
1
작업 준비를 합니다 .
e
1. 손목시계 ,자기ID 카드등 ,자력에영향을받는물건은전부빼둡니다 .
2.「EMERGENCYSTOP」버튼을눌러서장비를비상정지상태로합니다 .
3. 대차클램프스위치로대차를내려서탈착합니다 .
4. 사각건을Y 축리니어부와푸쉬업플레이트위에깔아둡니다 .
2
가이드를 청소합니다 .
1. 이동핸들을잡고헤드유닛을한쪽으로이동
시킵니다 .
2. 가이드전체를먼지가나지않는종이와이퍼
( 크린룸용 )등으로오래된구리스와더러움
을닦아주십시오 .
3. 헤드유닛을반대쪽으로이동시켜서반대쪽
가이드도닦아주십시오 .
57315-N5 - 00
3
구리스를 주입합니다 .
구리스건 ( 굽은타입 ) 을사용해서 ,X 축가이드
용구리스니플 ( 합계4 군데 ) 로부터지정구리스
(NSL) 를주입합니다 .
57316 -N5-0 0
n
요점
구리스를 급유할 때는 , 헤드 유닛을 모터측으로 가까이 해
서 작업해 주십시오 .
4
여분의 구리스를 닦아냅니다 .
1. 이동핸들을잡고헤드유닛을한쪽으로이동
시킵니다 .
2. 가이드단면에고인여분의구리스를닦아냅니
다.
3. 헤드유닛을반대쪽으로이동시켜서반대쪽의
가이드단면에고인여분의구리스도닦아냅니
다.
5
구리스의 상태를 확인합니다 .
1. 깔아둔사각건을제거합니다 .
2. 장비의커버를닫고 ,대차를세팅한후 ,비상
정지를해제합니다 .
e
3. 워밍업화면을표시해서 ,8 분정도워밍업을
해주십시오 .정지후 ,비상정지버튼을누르
고 ,가이드단면에고인구리스를닦습니다 .
c
주의
구리스고임이없어질때까지Step5 를반복해주십시오 .
구리스의고임이남아있는채로생산을하면구리스가튀어
날릴경우가있으므로주의해주십시오 .
가이드의 청소
Step 2
종이 와이퍼
가이드
구리스의 주입
Step 3
앞쪽
아래쪽, 뒤쪽
구리스건
(굽은타입)
구리스건
(굽은타입)
3-24
3
6
리니어 스케일부를 청소합니다 .
종이와이퍼등으로닦아주십시오 .
더러움이심할경우는 ,IPA 를적신와이퍼로
우측그림과같이일정방향으로닦은후에종이
와이퍼로닦아주십시오 .
57317-N5 - 00
c
주의
리니어스케일부를청소할때에는 ,너무세게닦지마십시오 .
리니어 스케일의 청소
Step 6
와이퍼
리니어 스케일
일정 방향으로 닦는다
3-25
3
2.2.4 X 축 가이드의 청소
•
급유 (2 빔 )
1
작업 준비를 합니다 .
e
1. 손목시계 ,자기ID 카드등 ,자력에영향을받는물건은전부빼둡니다 .
2.「EMERGENCYSTOP」버튼을눌러서장비를비상정지상태로합니다 .
3. 대차클램프스위치로대차를내려서탈착합니다 .
4. 사각건을Y 축리니어부와푸쉬업플레이트위에깔아둡니다 .
2
가이드를 청소합니다 .
1. 이동핸들을잡고헤드유닛을한쪽으로
이동시킵니다 .
2. 가이드전체를먼지가나지않는종이와이퍼
( 크린룸용 )등으로오래된구리스와더러움
을닦아주십시오 .
3. 헤드유닛을반대쪽으로이동시켜서반대쪽
가이드도닦아주십시오 .
5736 6- N5 -00
3
구리스를 주입합니다 .
1. 우측그림과같이하부의구리스니플이보이
는위치까지헤드유닛을이동시킵니다 .
2. 표준타입의구리스건을사용해서 ,상부 (2 군
데 )및하부 (1 군데 ) 의구리스니플로부터지
정구리스 (NSL) 를주입해주십시오 .
573 6 7-N5-00
4
여분의 구리스를 닦아냅니다 .
1. 이동핸들을잡고 -헤드유닛을한쪽으로이
동시킵니다 .
2. 가이드단면에고인여분의구리스를닦아냅니
다.
3. 헤드유닛을반대쪽으로이동시켜서반대쪽의
가이드단면에고인여분의구리스도닦아냅니
다.
5
구리스의 상태를 확인합니다 .
1. 깔아둔사각건을제거합니다 .
2. 장비의커버를닫고 ,일괄교환대차를세팅한
후 ,비상정지를해제합니다 .
e
3. 워밍업화면을표시해서 ,8 분정도워밍업을
해주십시오 .정지후 ,비상정지버튼을누르
고 ,가이드단면에고인구리스를닦습니다 .
c
주의
구리스고임이없어질때까지Step5 를반복해주십시오 .
구리스의고임이남아있는채로생산을하면구리스가튀어
날릴경우가있으므로주의해주십시오 .
6
리니어 스케일부를 청소합니다 .
종이와이퍼등으로닦아주십시오 .더러움이심
하면 ,IPA 를적신와이퍼로우측그림과같이일
정방향으로닦은후에종이와이퍼로닦습니다 .
57368-N5-00
c
주의
리니어스케일부를청소할때에는 ,너무세게닦지마십시오 .
가이드의 청소
Step 2
종이 와이퍼가이드
구리스의 주입
Step 3
가이드(상부)용 구리스 니플
가이드(하부)용 구리스 니플
리니어 스케일의 청소
Step 6
종이 와이퍼
리니어 스케일 (일정 방향으로 닦는다)