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NPM-D 通用型转印装置 4.1 转印材料的初始供给方法与成膜确认 Page 4-8 MFTU-EJM1DC-MB-0 4N-00 9 确认膜。 打开盖, 目视确认左图的必 要稳定膜范围内形成 了均匀的膜。 ∗ Y 方向请以刻印为目标。 ∗ 一直到在必要稳定膜范围内形成了稳 定的膜为 止、重复步骤 6 ~ 9 的操作。 刻印 刻印 2 吸嘴头标准范围 刻印 8 吸嘴头标准范围 2 吸嘴头转印位置扩张设定时的范围 关于转印位置扩张设定,…

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通用型转印装置
4.1
转印材料的初始供给方法与成膜确认
MFTU-EJM1DC-MB-04N-00 Page 4-7
4.1.2
成膜的确认
1
按下
。
2
按下
。
3
按下
。
4
按下
[
转印
]
。
5
按下
+ [
骚取
]
。
6
按下
+ [
连续动作
]
。
会反复执行成膜、骚取的动作。
7
停止动作。
进行一段时间的连续动作后,按下操作面板的
使动作停止。
8
将伺服开关置于
OFF
。
ChangeFdrStamperUnit-01C00
2
1
4
3
ChangeFdrStamperUnit-01C00
5
6

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通用型转印装置
4.1
转印材料的初始供给方法与成膜确认
Page 4-8 MFTU-EJM1DC-MB-04N-00
9
确认膜。
打开盖,目视确认左图的必要稳定膜范围内形成
了均匀的膜。
∗
Y
方向请以刻印为目标。
∗
一直到在必要稳定膜范围内形成了稳定的膜为
止、重复步骤
6 ~ 9
的操作。
刻印
刻印
2
吸嘴头标准范围
刻印
8
吸嘴头标准范围
2
吸嘴头转印位置扩张设定时的范围
关于转印位置扩张设定,请参照
‘3.3.2
转印开关
’
。
110 mm 10 mm 10 mm
范围
2: 30 mm
必要稳定膜范围
Y
方向
范围
1: 50 mm
26 mm

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转印材料的初始供给方法与成膜确认
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[
补充
]
关于初始供给量
初始供给量
V
以下述计算式算出。
∗
如超过初始供给量,则会从刮刀的两端漏出,造成材料浪费。
z
关于初始供给量
V
的想法
z
初始供给量
V
的内容
成膜必要区域
A: 130 [mm]
±
(23.5 + 50) [mm]
±
生成膜厚
t
= 9555
±
t [mm
3
]
调整区域
B: 130 [mm]
±
80 [mm]
±
生成膜厚
t
=10400
±
t [mm
3
] ········
考虑了膜完了后的安全区域
补充区域
C: 1500 [mm
3
] ··················
生产中由于转印而发生的消费量
初始供给量
V
t:
生成膜厚
[mm]
V = A + B + C = 9555
±
t + 10400
±
t + 1500 [mm
3
]
= (9555 + 10400)
±
t + 1500 [mm
3
]
= 19955
±
t + 1500 [mm
3
] ·········· (
式
1)
例:生成膜厚
t = 0.20 [mm]
时、必要的供给量:
V = 19955
±
0.20 + 1500 = 5491 [mm
3
]
所以成为
5500 [mm
3
]
。
刮板
转印区域
刮刀
130 (mm)
成膜必
调整
区域
B
补充
区域
C
生成膜厚
t
刮动开始位置
刻印
2.5 (mm) 50 (mm) 80 (mm)
23.5 (mm)
转印材料