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MEMO

100%1 / 222
MODEL TIM-X100F/R
0302-002
Key No. PART No. PART NAME Q’ty REMARKS
NOTE
29
C-4
301 630 101 1943 BEARING,RADIAL 2 750C--210-301
302 630 101 1936 GUIDE,LINEAR 1 750C--210-302
303 630 101 1882 SENSOR,PHOTO 1 BPH038 750C--210-303
305 630 102 8576 BLOCK 1 750C--210-305
306 630 097 9336 PLATE 2 750C--210-306
307 630 097 9329 BLOCK 2 750C--210-307
308 630 097 9282 PLATE 2 750C--210-308
309 630 097 9251 BLOCK 2 750C--210-309
310 630 099 6975 PLATE 1 750C--210-310
311 630 115 8280 BRACKET 1 750C--210-311
312 630 099 6968 BRACKET 1 750C--210-312
313 630 097 9534 PLATE 2 750C--210-313
314 630 097 9541 PLATE 1 750C--210-314
315 630 102 8569 BLOCK 1 750C--210-315
317 630 099 6982 PLATE 1 750C--210-317
318 630 097 9138 BLOCK 1 750C--210-318
319 630 097 9299 PLATE 1 750C--210-319
324 411 141 4503 WASHER V 8X17X1.6 16 750C--210-324
325 411 141 3100 WASHER SPR 8 16 750C--210-325
326 630 000 8036 BOLT,HEX-SCT 12 750C--210-326
327 630 000 8050 BOLT,HEX-SCT 4 750C--210-327
328 411 141 4305 WASHER V 6X12.5X1.6 5 750C--210-328
329 411 141 3001 WASHER SPR 6 4 750C--210-329
330 630 000 7909 BOLT,HEX-SCT 4 750C--210-330
331 630 000 7916 BOLT,HEX-SCT 1 750C--210-331
332 630 000 7923 BOLT,HEX-SCT 6 750C--210-332
333 411 141 4107 WASHER V 5X10X1 4 750C--210-333
334 411 141 6705 WASHER SPR 5 4 750C--210-334
335 630 000 7749 BOLT,HEX-SCT 2 750C--210-335
336 630 000 7756 BOLT,HEX-SCT 34 750C--210-335
337 630 000 7763 BOLT,HEX-SCT 8 750C--210-337
338 630 000 7770 BOLT,HEX-SCT 4 750C--210-338
339 630 000 7787 BOLT,HEX-SCT 4 750C--210-339
340 411 141 0505 NUT HEX 5 12 750C--210-340
341 411 141 4008 WASHER V 4X9X0.8 2 750C--210-341
342 411 141 2905 WASHER SPR 4 2 750C--210-342
343 630 000 7657 BOLT,HEX-SCT 2 750C--210-342
344 411 141 3902 WASHER V 3X7X0.5 3 750C--210-344
345 411 141 2806 WASHER SPR 3 3 750C--210-345
346 630 000 7503 BOLT,HEX-SCT 2 750C--210-346
347 630 000 7558 BOLT,HEX-SCT 1 750C--210-347
348 411 004 5104 NUT HEX 6 2 750C--210-348
349 411 035 5203 SCR FLT 6X20 2 750C--210-349
MEMO
MODEL TIM-X100F/R
0302-002
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Fig. E 真空ポンプ部 VACUUM PUMP SECTION