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1 - 68 Table 4A16 Note (a) 建议年数为参考值。 (b) 请不要再利用维护保养时拆卸的螺栓。 0805-002 5.2 重要保修品列表品名元件编号模块名元件名立体分解图备注使用数建议年数 Note(a) 主机部搬送部触摸面板真空泵搬运滑车搬运滑车搬运带搬运带 CPU1 硬盘

1-67

0805-002

5.2 重要保修品列表

预测几年内消耗完的元件列表。请作为参考。

Note

有关重要保修品的更换方法，因需要高度技术，请咨询本公司服务人

员。

Table 4A15

模块名品名元件编号元件名使用数建议年数

Note(a)

立体分解图

安装头部螺线管阀 630 141 4539 ACCESSORY,

24 3 Fig.M-6

吸嘴轴 ASSY

吸嘴轴

扩散板 ( 小 )

630 161 4892

630 153 0024

630 127 7660

ASSY,

GUIDE, LINEAR

DISK

Sets

(1)

――― Fig.M-6

带六角孔螺栓

M2×6

630 008 3057 BOLT, HEX-SCT 48 ――― Fig.M-6 吸嘴轴安装用

Note(b)

吸嘴轴用 O 环

SO-010-19

630 125 6382 SEAL 48 2 Fig.M-6

吸嘴轴用 O 环

SO-010-21

630 055 3253 SEAL 24 2 Fig.M-6

吸嘴轴用弹簧 630 125 1417 SPRING, COMP 24 ――― Fig.M-6

吸嘴用密封垫

DYR-3

630 127 3792 SEAL 48 2 Fig.M-6

过滤器用 O 环

SO-006-12

630 076 5090 SEAL 72 2 Fig.M-6

线传感器

线传感器投光器

630 157 4943

630 161 8654

SENSOR, PELEC

2Sets ――― Fig.M-6

扩散板 ( 外侧 )

630 128 2763 DISK 2 ――― Fig.M-6

扩散板 ( 内侧 )

630 127 7677 DISK 2 ――― Fig.M-6

带六角孔螺栓

M1.6×4

630 129 7064 BOLT, HEX-SCT 14 ――― Fig.M-6 扩散板安装用

Note(b)

上部模块 630 145 0018 BLOCK 24 ――― Fig.M-6

凸轮从动件

(φ2.5)

630 125 0328 CAMFOLLOWER 24 ――― Fig.M-6

带六角孔螺栓

M1.6×3

630 129 7057 BOLT, HEX-SCT 48 ――― Fig.M-6 上部模块安装用

Note(b)

传感器 PM-L24 630 080 5369 SENSOR, PHOTO 2 3 Fig.M-4

传感器 PM-F24 630 125 0878 SENSOR, PHOTO 10 3 Fig.M-2,3

滑动环 630 125 0441 COUPLING 2 2 Fig.M-5

备注

1-68

Table 4A16

Note

(a) 建议年数为参考值。

(b) 请不要再利用维护保养时拆卸的螺栓。

0805-002

5.2 重要保修品列表

品名元件编号模块名元件名立体分解图

备注

使用数

建议年数

Note(a)

主机部

搬送部

触摸面板

真空泵

搬运滑车

搬运带

CPU1

硬盘

•

故障处理的说明

•

警告 ( 启动向导 )

•

装置情报

•

关于异常显示界面

2-A

第二章

故障处理

本章节说明各故障处理的概要。

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